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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114252645A(43)申请公布日2022.03.29(21)申请号202011009502.2(22)申请日2020.09.23(71)申请人和舰芯片制造(苏州)股份有限公司地址215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号(72)发明人曹云舟(74)专利代理机构北京连和连知识产权代理有限公司11278代理人杨帆宋薇薇(51)Int.Cl.G01P3/36(2006.01)G08B21/18(2006.01)权利要求书2页说明书3页附图1页(54)发明名称转速侦测系统及其方法(57)摘要本发明涉及一种转速侦测系统,包括PMC;与PMC互相通信的旋转控制器;旋转盘,其被第一和第二激光扫描,第一和第二激光分别将扫描的转速信号反馈给旋转控制器;气动面板,其从旋转控制器接收信号,第一和第二气阀与气动面板连接,第一和第二气阀各自的一端连接至旋转盘且分别用于控制旋转盘的加速和减速;与PMC通信的鼓风机,其提供气体源,气体源分别连接至第一第二气阀;额外旋转系统,其接收来自第一激光扫描的转速信号、与鼓风机通信并且将信号输出以控制第一第二气阀。此外,本发明还涉及转速侦测的方法。本发明可以使机台安全宕机,由此避免装置的部件发生异常或损坏以及装置上产品被甩出而损坏,节约了成本,避免了大量损失。CN114252645ACN114252645A权利要求书1/2页1.一种转速侦测系统,其特征在于,包括:PMC;旋转控制器,所述旋转控制器与所述PMC互相通信;旋转盘,所述旋转盘被第一激光和第二激光扫描,并且所述第一激光和所述第二激光分别将扫描的转速信号反馈给所述旋转控制器;气动面板,所述气动面板从所述旋转控制器接收信号,第一气阀和第二气阀与所述气动面板连接,所述第一气阀的一端连接至所述旋转盘且用于控制所述旋转盘的加速,所述第二气阀的一端连接至所述旋转盘且用于控制所述旋转盘的减速;鼓风机,所述鼓风机与所述PMC通信,所述鼓风机提供气体源,所述气体源分别连接至所述第一气阀和所述第二气阀;额外旋转系统,所述额外旋转系统接收来自所述第一激光扫描的转速信号,所述额外旋转系统与所述鼓风机通信,所述额外旋转系统将信号输出以控制所述第一气阀和所述第二气阀。2.根据权利要求1所述的转速侦测系统,其特征在于,所述第一气阀和所述第二气阀分别通过第一CDA管路和第二CDA管路与所述气动面板连接。3.根据权利要求2所述的转速侦测系统,其特征在于,所述第一CDA管路上加装有第一电磁阀,并且所述第二CDA管路上加装有第二电磁阀。4.根据权利要求1所述的转速侦测系统,其特征在于,所述第一气阀的另一端连接至第一MFC,所述第二气阀的另一端连接至第二MFC。5.根据权利要求1所述的转速侦测系统,其特征在于,所述旋转盘上具有多个圈的齿,其中每圈的齿数是157个。6.根据权利要求5所述的转速侦测系统,其特征在于,所述第一激光和所述第二激光扫描所述旋转盘上的齿数。7.根据权利要求1所述的转速侦测系统,其特征在于,所述第一气阀和所述第二气阀均是NC气动阀。8.根据权利要求1所述的转速侦测系统,其特征在于,所述气体源是N2或者所述气体源是N2和O2的混合物。9.根据权利要求1所述的转速侦测系统,其特征在于,所述额外旋转系统将警报信号传送给所述鼓风机。10.一种利用上述权利要求中任一项所述的转速侦测系统进行转速侦测的方法,其特征在于,包括以下步骤:1)检测所述旋转控制器是否发生异常;2)在检测到所述旋转控制器发生异常的情况下,将监测所述旋转盘的加速的第一激光扫描的转速信号引入到所述额外旋转系统;3)检测所述旋转盘的转速是否超出设定值;4)在检测到所述旋转盘的转速超出设定值的情况下,将警报信号传送给所述鼓风机,并且将所述额外旋转系统的信号输出到第一电磁阀和第二电磁阀,通过切断所述第一电磁阀和所述第二电磁阀来切断分别用于控制所述旋转盘的加速和减速的第一气阀和第二气阀;2CN114252645A权利要求书2/2页5)断开鼓风机以使鼓风机不再运行,并将鼓风机不再运行的警报传送给所述PMC,从而使机台宕机。3CN114252645A说明书1/3页转速侦测系统及其方法技术领域[0001]本发明涉及一种控制系统和方法,并且更具体地,特别是涉及一种用于机台的转速侦测系统及其方法。背景技术[0002]目前转速控制系统设计逻辑如下:由PMC(过程监控控制)(主机)将指令传达给旋转控制器(下位机),再由旋转控制器下达加速,减速等指令,后由机台本身传感器侦测到具体转速,回传给旋转控制器,再传给PMC判断是否达到设定值。因此若旋转控制器出现异常,则会使实际转速无法传达给PMC,此前由旋转控制器下达的指令就会一直执行。如果此时正在加速,则旋转盘