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金属缓蚀剂化合物及其制备方法、缓蚀剂组合物及其应用.pdf
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本发明提供了一种金属缓蚀剂化合物及其制备方法、缓蚀剂组合物及其应用。本发明金属缓蚀剂化合物为N?甲基萘?苯骈三氮唑类化合物,N?甲基萘?苯骈三氮唑类化合物具有通式I所示结构:<base:Imagehe=@311@wi=@358@file=@DDA0002808376970000011.JPG@imgContent=@drawing@imgFormat=@JPEG@orientation=@portrait@inline=@yes@/>通式I中,R为H或C<base:Sub>1</base:Sub>～C<b
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