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铁电电容器结构及其制备方法.pdf
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铁电电容器结构及其制备方法.pdf
本发明提供了一种铁电电容器结构,包括:衬底层(1),以及依次叠设于所述衬底层(1)上的缓冲层(2)、第一电极(3)、介质层(4)和第二电极(5),所述衬底层(1)为柔性衬底,所述介质层为HfO<base:Sub>2</base:Sub>铁电介质。本发明还提供了一种该铁电电容器结构的制备方法。本发明通过在柔性衬底上生长一层缓冲层,使得表面粗糙度降低,大大减小了器件的漏电流,并且使得铁电薄膜内部电场分布均匀,提高了器件的可靠性。
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本发明涉及一种铁电拓扑畴结构的制备方法，其包括以下步骤：S1：采用脉冲激光沉积法在(001)方向的STO单晶衬底上沉积一层SRO导电层作为底电极；S2：在步骤S1制得的SRO底电极表面铺展单层PS小球作为掩模板，再用氧等离子体刻蚀处理，然后置于离子束刻蚀机中进行刻蚀，最后去除残留的单层PS小球掩模板，得到SRO纳米点阵列底电极；S3：选择BFO靶材，采用脉冲激光沉积法在步骤S2制得的SRO纳米点阵列底电极上沉积一层菱方相的BFO薄膜形成纳米点阵列，其为面外具有“十字形”缓冲畴的中心型拓扑畴结构，并且面内具
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本发明公开了一种具有高储能密度的铁电陶瓷电容器及其制备方法，所述陶瓷成分为氧化锰掺杂钛酸钡‑钛镁酸铋，采用的制备方法是高温固相反应法，在陶瓷样品上下两面分别蒸镀上顶电极与底电极，测试结果显示此无铅铁电陶瓷具有较高的储能密度和能量转换效率。其突出的优点是：制备条件易得、工艺简单、结构简单、性能稳定、储能密度高、适合批量生产。
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2023-06-07
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