一种抗反射微透镜阵列的制备方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115826106A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202211319178.3(22)申请日2022.10.26(71)申请人深圳大学地址518000广东省深圳市南山区南海大道3688号(72)发明人李康森龚峰连桂豪燕导航(74)专利代理机构深圳中一联合知识产权代理有限公司44414专利代理师邓志灵(51)Int.Cl.G02B3/00(2006.01)G02B1/118(2015.01)权利要求书2页说明书5页附图5页(54)发明名称一种抗反射微透镜阵列的制备方法(57)摘要本发明属于玻璃热压技术领域，尤其涉及一种抗反射微透镜阵列的制备方法。抗反射微透镜阵列的制备方法包括如下步骤：准备玻璃、第一模具、第二模具以及具有加热室的加热装置；制备抗反射层，将玻璃于加热室内加热至第一温度；使用第一模具于玻璃的表面热压印出抗反射微纳结构，以形成抗反射层，并冷却玻璃；制备微透镜阵列层，将玻璃于加热室内加热至第二温度，使用第二模具于玻璃的表面热压印出微透镜结构，以形成微透镜阵列层，抗反射微纳结构的尺寸小于微透镜结构的尺寸；脱模，取出加工好的玻璃。本申请可以实现光学玻璃的加工，加工过程简单，且具有成形精度高、分辨率高、一致性高等特点。CN115826106ACN115826106A权利要求书1/2页1.一种抗反射微透镜阵列的制备方法，用于加工玻璃，其特征在于，所述抗反射微透镜阵列的制备方法包括如下步骤：准备玻璃、第一模具、第二模具以及具有加热室的加热装置；制备抗反射层，将所述玻璃于所述加热室内加热至第一温度；使用第一模具于所述玻璃的表面热压印出抗反射微纳结构，以形成所述抗反射层，并冷却所述玻璃；制备微透镜阵列层，将所述玻璃于所述加热室内加热至第二温度，使用第二模具于所述玻璃的表面热压印出微透镜结构，以形成所述微透镜阵列层，所述抗反射微纳结构与所述微透镜结构位于所述玻璃的同一表面，且所述抗反射微纳结构的尺寸小于所述微透镜结构的尺寸，且所述微透镜结构上布置有所述抗反射微纳结构；脱模，取出加工好的所述玻璃。2.如权利要求1所述的抗反射微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述第一温度大于所述第二温度。3.如权利要求1所述的抗反射微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述第一模具包括第一模压头以及供所述玻璃放置的微纳模板，所述微纳模板上开设有抗反射微纳结构；所述制备抗反射层步骤中，所述第一模压头朝所述微纳模板压紧所述玻璃，以使所述玻璃复制所述抗反射微纳结构。4.如权利要求1所述的抗反射微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述制备抗反射层包括如下步骤：S21：将所述加热室抽真空，向所述加热室充入氮气并再次抽真空，再向所述加热室充入惰性气体；S22：将所述第一模具定位于所述加热室并将所述玻璃放入所述第一模具内，加热所述玻璃至所述第一温度；S23：所述第一模具朝所述玻璃施加第一压力，以在所述玻璃上热压加工出所述抗反射微纳结构；S24：将所述第一模具保压预定时间，并冷却所述玻璃。5.如权利要求1所述的抗反射微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述微纳结构包括多个间隔设置的抗反射凸起。6.如权利要求5所述的抗反射微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述抗反射凸起的横截面形状为圆形、椭圆形或多边形。7.如权利要求1‑6任意一项所述的抗反射微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述第二模具包括第二模压头以及供所述玻璃放置的阵列模板，所述阵列模板开设有多个成形孔，各所述成形孔间隔布置于所述阵列模板；所述制备微透镜阵列层中，所述第二模压头朝所述阵列模板压紧所述玻璃，以使所述玻璃部分进入所述成形孔，以形成所述微透镜结构。8.如权利要求1‑6任意一项所述的抗反射微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述制备微透镜阵列层包括如下步骤：S31：将所述加热室抽真空，向所述加热室充入氮气并再次抽真空，再向所述加热室充入惰性气体；S32：将所述第二模具定位于所述加热室并将热压印有所述抗反射层的所述玻璃放入所述第二模具内，加热所述玻璃至所述第二温度；2CN115826106A权利要求书2/2页S33：所述第二模具朝所述玻璃施加第二压力，以在所述玻璃上加工出所述微透镜结构；S34：将所述第二模具保压预定时间，并冷却所述玻璃。9.如权利要求1‑6任意一项所述的抗反射微透镜阵列的制备方法，其特征在于：所述第一温度的温度范围为580～610℃，所述第二温度的范围为温度530～550℃。3CN115826106A说明书1/5页一种抗反射微透镜阵列的制备方法技术领域[0001]本发明属于玻璃热压技术领域，尤其涉及一种抗反射微透镜阵列的制备方法。背景技术[0002]目前，微透镜阵列是由一系列孔径在微米、亚毫米尺度的透镜单元按照一定的周