一种包含非接触式吸盘的晶粒搬运装置、检测装置和方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115825095A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202211337592.7(22)申请日2022.10.28(71)申请人珠海格力新元电子有限公司地址519100广东省珠海市斗门区斗门镇龙山工业区龙山二路东8号申请人珠海格力电器股份有限公司(72)发明人张程徐世明鄢坤王伊纳廖志鹏周海(74)专利代理机构广州市时代知识产权代理事务所(普通合伙)44438专利代理师马盼(51)Int.Cl.G01N21/95(2006.01)G01N21/01(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称一种包含非接触式吸盘的晶粒搬运装置、检测装置和方法(57)摘要本发明公开了一种包含非接触式吸盘的晶粒搬运装置、检测装置和方法，其中非接触式吸盘用于对晶粒进行非接触式吸附，包括与气管连通的出气口，所述出气口为变截面结构，变截面结构为出气口由靠近气管一侧至远离气管一侧其截面面积递增，所述出气口的内部设置有整流罩，所述整流罩安装在出气口近气管端，整流罩周侧开设有若干整流孔。本发明能够实现非接触式晶粒吸取和翻转，避免晶粒损伤，提高检测准确性，进而有效提高晶粒搬运检测效率。CN115825095ACN115825095A权利要求书1/1页1.一种非接触式吸盘，用于对晶粒进行非接触式吸附，其特征在于，包括与气管连通的出气口，所述出气口为变截面结构，变截面结构为出气口由靠近气管一侧至远离气管一侧其截面面积递增，所述出气口的内部设置有整流罩，所述整流罩安装在出气口近气管端，整流罩周侧开设有若干整流孔。2.根据权利要求1所述的一种非接触式吸盘，其特征在于，所述整流罩包括整平板和若干个立柱，所述整平板平行于气管和出气口的连接面，所述立柱一端固定在整平板中，另一端固定在出气口的内侧壁，立柱之间形成整流孔。3.根据权利要求2所述的一种非接触式吸盘，其特征在于，所述气管为圆柱状管道，所述整平板为圆形；所述立柱均匀分布在整平板的边缘。4.根据权利要求1所述的一种非接触式吸盘，其特征在于，所述出气口为锥形结构。5.一种晶粒搬运装置，其特征在于，包括权利要求1‑4任意一项所述的非接触式吸盘。6.一种晶粒检测装置，用于对晶粒的背面进行检测，其特征在于，包括权利要求5所述的晶粒搬运装置，还包括翻转平台和盖板，所述翻转平台套设在翻转杆上并与之锁固，所述盖板可拆卸固定在翻转平台中。7.根据权利要求6所述的一种晶粒检测装置，其特征在于，还包括用于限制翻转杆翻转的固定件，所述固定件位于翻转杆的侧边。8.根据权利要求6所述的一种晶粒检测装置，其特征在于，所述盖板和翻转平台中相互固定连接的面中设置有磁铁。9.根据权利要求6所述的一种晶粒检测装置，其特征在于，所述盖板的侧边设置有把手。10.一种采用权利要求6所述的晶粒检测装置进行晶粒背面检测的方法，其特征在于，包括：晶圆水平放置，出气口朝下并对准晶圆中的晶粒的正面，控制气管中气流的流速，利用伯努利原理，使得气流的流速增大并对晶粒产生吸力，实现对晶粒正面的非接触式吸附；非接触式吸盘带动晶粒移动至翻转平台上方，切断气管中气流，使得晶粒被放置在翻转平台中，此时晶粒正面朝上；将盖板固定在翻转平台中放置晶粒的面中，翻转杆带动翻转平台和盖板同时翻转，使得晶粒被反置于盖板中，此时晶粒背面朝上；对盖板中的晶粒背面进行检测。2CN115825095A说明书1/6页一种包含非接触式吸盘的晶粒搬运装置、检测装置和方法技术领域[0001]本发明涉及晶粒搬运检测领域，尤其涉及一种包含非接触式吸盘的晶粒搬运装置、检测装置和方法。背景技术[0002]在半导体封测行业中，固晶工序指的是将晶圆固定在框架上。由于绝大多数固晶机在固晶的过程中只关注晶圆正面在CP检测(晶圆出厂前的电性能探针测试)时所做的不良标注，对晶圆背面缺陷少有涉及。所以在批量生产前，质量要求较高的公司会制定严格的操作流程以防止批量质量问题的产生。其中，查看晶圆背部的缺陷就是一个重要指标。在对晶圆背面检测过程中，取单颗晶粒就成了重要的一步。在行业中，取单颗晶粒通用的方法是操作固晶机将晶粒吸起，用防静电镊子将晶粒取下，放置在托盘之中放至电子显微镜下观察。此种方法有以下几个方面的不足：[0003]1、此种方法在使用镊子将晶粒从固晶机的气嘴上取下时，对操作人员技能要求较高，新员工很难把握力度，易将晶粒损坏，故传统的镊子取晶法可靠性低。[0004]2、由于固晶机的机械结构及产品的设计结构等综合方面的因素决定了其正面朝上的取晶及固晶的方式，无法改变。此种方法在取晶时，晶圆在托盘中经常会出现正面朝上的情景，在用镊子将晶粒翻转过程中很容易将晶粒背部划伤，造成误判。[0005]3、此