一种单、多晶切割改善线痕TTV的切割方法.pdf

本发明公开了一种单、多晶切割改善线痕TTV的切割方法,放线导辊和收线导辊平行设置于工作台上,放线导辊和收线导辊的同向一端为起始端,另一端为终止端;放线导辊和收线导辊均从起始端至终止端均匀开设n个导线槽,放线导辊中第i个导线槽与收线导辊中第i个导线槽的连线与放线导辊或收线导辊的轴线相垂直;其中,1≤i≤n;将n根金钢线平行布设在n个导线槽内,其中,第i根金钢线的布设方法为:第i根金钢线的一端绕设在放线导辊的第i个导线槽,第i根金钢线的另一端则绕设在收线导辊的第i+a个导线槽内;步骤2、切割晶棒:将晶棒横置于n根金钢线上进行切割,将晶棒切割为若干个晶片,其中晶棒为单晶棒或多晶棒。