预览加载中，请您耐心等待几秒...

一种多参数检测方法与装置.pdf

预览
1/10
2/10
3/10
4/10
5/10
6/10
7/10
8/10
9/10
10/10

亲，该文档总共13页，到这已经超出免费预览范围，如果喜欢就直接下载吧～

下载提示 文本预览

如果您无法下载资料，请参考说明：

1、部分资料下载需要金币，请确保您的账户上有足够的金币

2、已购买过的文档，再次下载不重复扣费

3、资料包下载后请先用软件解压，在使用对应软件打开

本发明公开了一种多参数检测方法与装置,属于光电检测技术领域。采用基于位置敏感光电探测器的高精度光电式边缘检测和精密电控位移台相结合的方法,可以实现镜面级表面物体的尺寸参数的非接触、高精度在线自动检测,设定参数下检测精度可达5微米;采用三角测距法实现镜面级表面物体的表面平面度的非接触、高精度在线自动检测,设定参数下检测精度可达1微米;在实现多参数同步检测的情况下,整个系统可以单个光源作为系统光源,探测单元高效复用,结构简单灵活。本发明所提方法可以解决目前已有检测方法分别存在的检测精度不高、可检测尺寸范围较小、材质受限、系统复杂等问题。