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本发明公开一种稀土永磁材料表面耐蚀涂层及其制备方法,通过磁控溅射和原位氧化/氮化处理在稀土永磁材料表面形成稀土氧化物/氮化物薄层。其制备方法包括如下步骤:(1)采用真空磁控溅射的方法,在稀土永磁材料表面沉积高丰度轻稀土La/Ce/Y/Nd单层膜或多层复合膜;(2)采用气氛热处理的方法,原位氧化/氮化生成表面耐蚀涂层。本发明将磁控溅射和原位氧化/氮化处理相结合,形成均匀、致密、稳定的涂层,可大幅提高稀土永磁材料的耐蚀性,延长材料服役寿命。