一种显影液及其制备方法、光刻胶的显影方法.pdf

本申请提供了一种显影液及其制备方法、光刻胶的显影方法,所述显影液包括以下重量份数的各组分:1?20份的碱,0.01?5份的金属保护剂,0.01?5份的表面活性剂,余量为水;其中,所述表面活性剂包括十二烷基苯磺酸盐、十二烷基硫酸盐、脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸盐、重烷基苯磺酸钠、聚氧丙烯?聚氧乙烯嵌段共聚物中的至少一种;所述金属保护剂包括山梨酸盐、苯甲酸盐、醋酸氯乙啶、甲基苯并三氮唑中的至少一种。该显影液显影速率适中、可控性强、显影分辨率高,且显影后基板的净度高、光刻胶侧壁的垂直度好、对基板无腐蚀。