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适用于RGB波段高效率偏振无关的倾斜光栅.pdf
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春波****公主
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本发明公开了一种适用于RGB波段高效率偏振无关的倾斜光栅,其中三原色的中心波长分别为:红光:620nm,绿光:526nm,蓝光:460nm。光栅层与基底层都为熔融石英,光栅的周期为:723～745纳米,脊宽为:460～494纳米,倾斜角:15～16.4度,光栅总深度为:1400～1440纳米,当TE偏振光或者TM偏振光垂直入射时,其?1级透射率在RGB波段均超过80%,同时0级和1级透射光的衍射效率比较低,使得出射光的能量主要集中在?1级上。本发明中倾斜光栅由电子束直写装置与微电子深刻蚀加工而成,结构简单
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2023-06-07
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