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本申请实施例公开了一种校准方法和校准装置,所述校准方法包括:以结构固定且尺寸已知的标准块作为校准治具,标准块主体一侧面上设有标记结构;利用测量器具采集标准块的结构轮廓;以设有标记结构的标准块主体的侧面沿第一方向和第二方向的轮廓水平校准测量器具;以及将测量得到的标记结构的轮廓尺寸与该标记结构已知实际轮廓尺寸建立关联关系,得到对应的关联系数,根据关联系数调节测量器具以校准测量精度。