校准装置及校准方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114300404A(43)申请公布日2022.04.08(21)申请号202111659572.7(22)申请日2021.12.30(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人茅兴飞黄海涛李岩许金基(74)专利代理机构北京国昊天诚知识产权代理有限公司11315代理人周永强(51)Int.Cl.H01L21/68(2006.01)H01L21/677(2006.01)权利要求书3页说明书14页附图6页(54)发明名称校准装置及校准方法(57)摘要本申请公开了一种校准装置及校准方法，涉及半导体领域。一种校准装置包括：校准装置本体和定位组件；校准装置本体一侧设有安装槽，安装槽的底壁为承载面，安装槽的侧壁为第一定位面；校准装置本体另一侧设有定位槽，定位槽和卡盘配合，以使承载面的轴线和卡盘的顶面的轴线重合；定位组件包括可拆卸地设置于校准装置本体的第一定位件和第二定位件，第一定位件上形成有导向部，导向部用于校准偏角值；第二定位件用于校准伸展值；第一定位件和/或第二定位件具有第二定位面，第二定位面用于校准高度值。一种校准方法，应用于校准装置。本申请能够解决机械手控制手柄操作和目测结合的校准方式导致晶圆与卡盘同心度偏差较大的问题。CN114300404ACN114300404A权利要求书1/3页1.一种校准装置(100)，用于校准晶圆(600)放置于卡盘(400)上的位置，其特征在于，包括：校准装置本体(110)和定位组件(120)；所述校准装置本体(110)的顶面沿自身轴向的一侧设有安装槽(111)，所述安装槽(111)的底壁作为支撑所述晶圆(600)的承载面(1111)，所述安装槽(111)的侧壁作为定位所述晶圆(600)的第一定位面(1112)；所述校准装置本体(110)底面沿自身轴向的一侧设有定位槽(112)，所述定位槽(112)用于和所述卡盘(400)的顶面配合，以使所述承载面(1111)的轴线和所述卡盘(400)的顶面的轴线重合；所述定位组件(120)包括分别以可拆卸的方式设置于所述校准装置本体(110)顶面上的第一定位件(121)和第二定位件(122)，所述第一定位件(121)上形成有导向部，所述导向部用于使传输装置(200)的传输端部按照预设方向移动，以校准所述传输装置(200)的偏角值；所述第二定位件(122)用于使所述传输端部停止在目标位置，以校准所述传输装置(200)的伸展值；所述第一定位件(121)和/或所述第二定位件(122)背离所述承载面(1111)的端面为第二定位面(1211)，所述第二定位面(1211)用以校准所述传输装置(200)在所述校准装置本体(110)轴向上的高度值。2.根据权利要求1所述的校准装置(100)，其特征在于，所述第一定位件(121)和所述第二定位件(122)分别可拆卸地设置于所述承载面(1111)上。3.根据权利要求2所述的校准装置(100)，其特征在于，所述传输端部设有定位凹槽(210)，所述定位凹槽(210)具有沿所述预设方向设置的槽口端(211)和槽底端(212)；在所述传输端部沿所述预设方向移动的情况下，所述槽底端(212)可靠近所述第二定位件(122)；在所述传输端部移动至所述目标位置的情况下，所述槽底端(212)与所述第二定位件(122)贴合。4.根据权利要求1至3中任意一项所述的校准装置(100)，其特征在于，所述第一定位件(121)位于所述传输端部沿所述预设方向的至少一侧，其中，所述定位组件(120)包括一个所述第一定位件(121)，所述第一定位件(121)沿所述预设方向延伸，以形成所述导向部，或者，所述定位组件(120)包括至少两个所述第一定位件(121)，相邻所述第一定位件(121)沿所述预设方向间隔设置，以形成所述导向部；在所述传输端部沿所述预设方向移动的情况下，所述传输端部与所述第一定位件(121)贴合。5.根据权利要求1所述的校准装置(100)，其特征在于，所述校准装置本体(110)沿自身轴向的一侧设有排气槽(114)，所述排气槽(114)与所述安装槽(111)连通，且所述排气槽(114)的底壁低于所述承载面(1111)。6.一种校准装置(100)，用于校准晶圆(600)放置于卡盘(400)上的位置，其特征在于，其特征在于，包括：第一校准工装(116)和第二校准工装(117)；所述第一校准工装(116)的顶面沿自身轴向的一侧设有安装槽(111)，所述安装槽(111)的底壁作为支撑所述晶圆(600)的承载面(1111)，所述安装槽(111)的侧壁作为定位2CN114300404A权利要求书2/3页所述晶圆(600)的第一