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本实用新型提供了一种靶材孔位检具,所述靶材孔位检具包括扇形基底;沿远离扇形基底圆心的方向依次划分第一圆弧段、第二圆弧段与第三圆弧段;第一圆弧段、第二圆弧段、第三圆弧段与扇形基底同圆心;所述第一圆弧段设置有至少1个排气通孔;所述第二圆弧段设置有至少1个圆柱形凸起;所述第三圆弧段设置有至少1个凸台定位件;所述凸台定位件包括同轴心的圆柱基底与圆柱定位凸起;所述圆柱形凸起的直径<与其对应的靶材孔位的直径;所述圆柱定位凸起的直径<与其对应的靶材孔位的直径;所述圆柱基底的直径≤与其对应的靶材孔位的直径。所述靶材能够对靶材的孔位尺寸进行检测,且检测过程简单便捷,检测误差较小。