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工件的表面缺陷检测装置及检测方法、工件的表面检查系统以及程序.pdf

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使用多个图像计算多个图像中的统计性的偏差值来制作合成图像,根据所制作的合成图像来进行缺陷检测,其中所述多个图像是通过在利用在作为表面缺陷的检测对象的工件(1)的同一位置引起周期性的亮度变化的照明装置(6)对工件进行照明的状态下摄像单元(8)连续地对工件进行摄像而得到的,并且所述多个图像是在周期性的亮度变化的1个周期中得到的。