吸附垫.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115867415A(43)申请公布日2023.03.28(21)申请号202080102624.8(51)Int.Cl.(22)申请日2020.07.27B25J15/06(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2022.12.29(86)PCT国际申请的申请数据PCT/JP2020/0287202020.07.27(87)PCT国际申请的公布数据WO2022/024186JA2022.02.03(71)申请人日本电气硝子株式会社地址日本国滋贺县(72)发明人玉村文男进藤宏佳(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021专利代理师刘文海权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称吸附垫(57)摘要吸附玻璃板(G)的吸附垫(2)具备：垫主体(4)，其在与玻璃板(G)之间形成气密空间(S)；以及第一发泡构件(5)，其配置于气密空间(S)内并与玻璃板(G)接触。垫主体(4)具备：排气口(6)，其用于将气密空间(S)内的气体排出；以及裙部(4)，其在第一发泡构件(5)的外缘部(9)的外侧与玻璃板(G)接触。裙部(4)能够通过与玻璃板(G)的接触而发生弹性变形，并且能够在弹性变形的复原力的作用下从玻璃板(G)分离。CN115867415ACN115867415A权利要求书1/1页1.一种吸附垫，其吸附板材，所述吸附垫的特征在于，所述吸附垫具备：垫主体，其在与所述板材之间形成气密空间；以及第一发泡构件，其配置于所述气密空间内并与所述板材接触，所述垫主体具备：排气口，其用于将所述气密空间内的气体排出；以及裙部，其在所述第一发泡构件的外缘部的外侧与所述板材接触，所述裙部能够通过与所述板材的接触而发生弹性变形，并且能够在所述弹性变形的复原力的作用下从所述板材分离。2.根据权利要求1所述的吸附垫，其特征在于，所述第一发泡构件的外缘部的厚度比所述第一发泡构件的外缘部的内侧的中心部的厚度薄。3.根据权利要求2所述的吸附垫，其特征在于，所述第一发泡构件的外缘部从内侧趋向外侧而逐渐变薄。4.根据权利要求1～3中任一项所述的吸附垫，其特征在于，所述第一发泡构件具有从所述排气口朝向所述板材在厚度方向上贯通的排气孔。5.根据权利要求4所述的吸附垫，其特征在于，所述排气口的内壁由第二发泡构件构成。6.根据权利要求1～5中任一项所述的吸附垫，其特征在于，所述排气口的内径为30mm以下。7.根据权利要求1～6中任一项所述的吸附垫，其特征在于，所述板材为玻璃板。2CN115867415A说明书1/5页吸附垫技术领域[0001]本发明涉及吸附玻璃板等板材的吸附垫。背景技术[0002]在被用作液晶显示器、等离子显示器、有机EL显示器等平板显示器、太阳能电池等的基板的玻璃板的制造工序中，有时包括将玻璃板一边由吸附垫吸附一边移动的工序。[0003]作为吸附垫，通常是使垫主体的圆锥状的裙部与玻璃板的表面接触，并利用真空泵等吸引在垫主体与玻璃板之间形成的气密空间内的气体而吸附玻璃板的结构。[0004]然而，若玻璃板变薄，则在利用吸附垫吸附了时，玻璃板向吸引方向弯曲而不当挠曲，可能成为产生损伤、破损的原因。[0005]因此，例如，在专利文献1的图9中公开有在气密空间内配置由能够供负压流体通过的多孔质体构成的平面状的垫，并经由该垫来吸附工件。[0006]现有技术文献[0007]专利文献[0008]专利文献1：日本特开2012‑110982号公报发明内容[0009]发明要解决的课题[0010]然而，在将专利文献1的图9的结构应用于玻璃板的吸附的情况下，垫主体的裙部隔着在垫的周缘部较薄地形成的唇部而与玻璃板接触。即，垫主体的裙部不与玻璃板直接接触，因此玻璃板的吸附力可能变得不充分。需要说明的是，在专利文献1中，若通过冲压来压缩从而形成薄壁的唇部，则伴随着冲压而空穴被压扁，因此唇部作为将流体的通过阻断的密封部而发挥功能。在该情况下，伴随着利用冲压使唇部的刚性变高而柔软性受损，因此在吸附时有可能对玻璃板造成损伤。[0011]另外，在专利文献1中公开有在将玻璃板的吸附解除时停止对气密空间供给负压，但存在使吸附垫与玻璃板分离需要时间这样的问题。需要说明的是，也考虑供给对气密空间内进行加压的气体，使吸附垫与玻璃板分离，但在这种情况下另外需要进行加压的气体的供给设备，因此可能产生设备复杂化等新的问题。[0012]需要说明的是，以上那样的问题在对玻璃板以外的板材使用吸附垫的情况下也可能同样产生。[0013]本发明的课题在于，在吸附垫的吸附执行时确保高吸附力的同时抑制板材的挠曲，并且在吸附垫的吸附解除时将板材迅速分离。[0014]用于解决课题的方案[0015]为了解决上述的课题而做出的本发明为一种吸附垫，其吸