用于借助激光束加工工件的激光加工装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115867408A(43)申请公布日2023.03.28(21)申请号202180048525.0(74)专利代理机构永新专利商标代理有限公司(22)申请日2021.05.0672002专利代理师韩长永(30)优先权数据102020112403.12020.05.07DE(51)Int.Cl.B23K26/064(2006.01)(85)PCT国际申请进入国家阶段日2023.01.06(86)PCT国际申请的申请数据PCT/EP2021/0619462021.05.06(87)PCT国际申请的公布数据WO2021/224367DE2021.11.11(71)申请人普雷茨特两合公司地址德国加根瑙(72)发明人D·布拉斯克斯桑切斯权利要求书2页说明书16页附图14页(54)发明名称用于借助激光束加工工件的激光加工装置(57)摘要本发明公开了一种用于借助激光束加工工件的激光加工装置，该激光加工装置包括：激光加工头，该激光加工头具有用于壳体和布置在其中的用于激光束的光束路径；布置在光束路径中的至少一个第一光学元件，其中所述第一光学元件是可动光学元件和/或具有负焦距的光学元件和/或密封光学元件；以及在所述光束路径中布置在所述第一光学元件下游的至少一个透射的第二光学元件，其特征在于，所述第一光学元件和/或所述第二光学元件包括至少一个表面，该表面具有用于减少逆反射的抗反射结构。CN115867408ACN115867408A权利要求书1/2页1.一种用于借助激光束(3)加工工件(2)的激光加工装置(1)，包括：‑激光加工头(20)，该激光加工头具有壳体(201)和布置在该壳体中的用于激光束(3)的光束路径(31)；‑布置在所述光束路径(31)中的至少一个第一光学元件(10a)，其中所述第一光学元件(10a)被构造为可动光学元件和/或具有负焦距的光学元件和/或密封光学元件；和‑在光束路径(31)中布置在第一光学元件(10a)下游的至少一个透射的第二光学元件(10b)；其特征在于，所述第一光学元件(10a)和/或所述第二光学元件(10b)具有至少一个表面(101a)，该表面具有用于减少逆反射(104a、104b)的抗反射结构(102)。2.根据权利要求1所述的激光加工装置(1)，其中，具有抗反射结构(102)的光学元件(10、10a、10b、10c)具有基底(101)；所述抗反射结构(102)单片地和/或与所述基底(101)一体地构成；和/或所述抗反射结构(102)构造在所述基底(101)的至少一个表面(101a)中或上。3.根据前述权利要求中任一项所述的激光加工装置(1)，其中，具有抗反射结构(102)的光学元件(10、10a、10b、10c)具有基底(101)，其中该基底(101)的至少一个表面(101a)是多孔的并且该多孔的表面(101a)的孔的尺寸和/或孔之间的距离等于或小于所述激光束(3)的波长，其中所述抗反射结构通过所述基底(101)的至少一个多孔的表面(101a)形成。4.根据权利要求2或3所述的激光加工装置(1)，其中，所述抗反射结构通过对所述基底(101)的至少一个表面(101a)的湿蚀刻或干蚀刻形成。5.根据前述权利要求中任一项所述的激光加工装置(1)，其中，所述第一光学元件(10a)是可动光学元件，其能够平行于和/或垂直于所述第一光学元件(10a)的光轴相对于所述壳体(201)移动和/或能够围绕所述第一光学元件(10a)的光轴和/或围绕垂直于所述第一光学元件(10a)的光轴的轴旋转。6.根据前述权利要求中任一项所述的激光加工装置(1)，还包括保持装置(40)，该保持装置保持所述第一光学元件(10a)，其中，所述保持装置(40)具有第一部分(401)，该第一部分至少部分地沿着所述第一光学元件(10a)的圆周围绕该第一光学元件(10a)。7.根据前述权利要求中任一项所述的激光加工装置(1)，其中，所述第一光学元件(10a)包括以下元件中的至少一个或是以下元件中至少一个的一部分：反射镜、偏转镜、电镀镜、透射光学元件、保护玻璃、具有至少一个平坦面的光学元件、具有折射力的光学元件、透镜、平面凹透镜、平面凸透镜、透镜组、聚焦透镜、聚焦光学器件、聚焦透镜组、准直透镜、准直光学器件、准直透镜组、光束成形光学器件、变焦光学器件、无焦望远镜、F‑θ物镜和远心物镜。8.根据前述权利要求之一所述的激光加工装置(1)，其中，所述第二光学元件(10b)包括以下元件中的至少一个或是以下元件中至少一个的一部分：布置在光束路径(31)的发散和/或会聚区域中的光学元件、透射光学元件、保护玻璃、具有至少一个平坦面的光学元件、具有折射力的光学元件、透镜、平面凹透镜、平面凸透镜、透镜组、聚焦透镜、聚