

盲孔检测结构及盲孔检测方法.pdf
是丹****ni
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盲孔检测结构及盲孔检测方法.pdf
本申请公开了一种盲孔检测结构及盲孔检测方法,该盲孔检测结构包括基板、第一检测点、第二检测点和孔偏检测部,基板设有串联连接的第一盲孔、第二盲孔和第三盲孔,第三盲孔设有若干个,且第一盲孔经第三盲孔电连接于第二盲孔,第一检测点经电阻电连接于第一盲孔,第二检测点电连接于第二盲孔,孔偏检测部电连接于第一检测点和第二检测点。本申请在检测设于基板的盲孔质量时,检测第一检测点、第二检测点间的阻值,若该阻值大于电阻的阻值,则确定盲孔的孔底、孔肩或侧壁出现异常,若该阻值小于电阻的阻值,则确定盲孔产生偏位,该盲孔检测结构能够同
PCB盲孔检测方法.pdf
本发明属于印刷电路板制造技术领域,涉及一种PCB盲孔检测方法,通过垂直于PCB板面的入射光照射PCB板,同时用AOI摄像头摄取光照下的PCB板面图像;当孔位显示为实心圆点时,说明是正常通孔;当孔位显示为圆环时,说明是正常盲孔;当孔位显示其他形状时,说明是异常盲孔。本发明利用光照令通孔和盲孔的特征能够直观显示到画面内,大大加快正常孔的排除,降低了漏检率,提高了检测准确率,而且设备成本较低。
半导体盲孔的检测方法.pdf
本发明公开了一种半导体盲孔的检测方法,包括提供一包括导电区的半导体衬底;形成多个暴露出导电区的盲孔,其特征在于电阻率大于导电区的高电阻层会位在至少一盲孔的部分或全部底部区域,且高电阻层和导电区的接触面不是欧姆接触;将导电材料填满多个盲孔,使导电材料和半导体衬底的接触面构成欧姆接触;及利用带电射线照射填满有所述导电材料的所述多个盲孔。
半导体盲孔的检测方法.pdf
本发明公开了一种半导体盲孔的检测方法,包括提供具有导电区的半导体基底;形成多个暴露出所述导电区的盲孔,其中至少一个盲孔的底部区域具有电阻率大于导电区的高电阻层,且高电阻层和导电区间没有欧姆接触;在各个盲孔的侧壁上形成一层阻档层,其中阻档层的电阻率大于导电区的电阻率;在多个盲孔内填入导电材料,且导电材料位在阻档层上;进行一热工艺,使导电材料和半导体基底间的部分区域形成欧姆接触;及利用带电射线照射填满有导电材料的多个盲孔。
半导体盲孔的检测方法.pdf
本发明公开了一种半导体盲孔的检测方法,包括提供一包括导电区的半导体基底;形成多个暴露出导电区的盲孔,其特征在于电阻率大于导电区的高电阻层会位在至少一盲孔的部分或全部底部区域,且高电阻层和导电区的接触面不是欧姆接触;将导电材料填满多个盲孔;进行一热处理工艺,使导电材料和半导体基底间形成欧姆接触;及利用带电射线照射填满有导电材料的多个盲孔。