一种光栅干涉仪对准误差实时校正方法.pdf

本发明公开了一种光栅干涉仪对准误差实时校正方法,包括光栅干涉仪位移测量光路、位姿偏转检测光路、光电检测模块、干涉仪信号处理与误差补偿模块。光栅干涉仪位移测量光路主要由激光光源、光栅、非偏振分光镜、偏振分光镜、四分之一波片组成;位姿偏转检测光路主要由半透半反镜和聚焦透镜组成;干涉仪信号处理与误差补偿处理光栅干涉仪信号位移解调与光栅测量误差补偿。本发明利用对称光路以及四象限探测器来测量光学读数头相对于光栅尺空间位姿绕x轴、y轴和z轴偏转量,通过误差补偿模型对位移测值实时进行实时校正,最终达到提高光栅干涉仪测量精度的目的,测量简单,误差小。