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电极谐振微陀螺.pdf
2023-06-06
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雨巷****凝海
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电极谐振微陀螺.pdf
本发明提供了一种电极谐振微陀螺,包括基体(1)、谐振体(2);所述谐振体(2)设置在基体(1)上;所述基体(1)具有容纳腔(4);所述谐振体(2)设置在容纳腔(4)内。所述谐振体(2)底部延伸出固定部(3);所述容纳腔(4)设置有固定部容纳槽;所述固定部(3)与固定部容纳槽相匹配;所述固定部(3)固定在固定部容纳槽内。本发明提供的加工工艺为平面微细加工工艺,加工方便,利于批量生产;通过腐蚀二氧化硅牺牲层形成底部支撑柱,可以精准的控制支撑柱的大小,并实现结构的自对称。
2023-06-06
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一种半球谐振陀螺石英玻璃电极基座抛光装置及抛光方法.pdf
本发明涉及一种半球谐振陀螺石英玻璃电极基座抛光装置及抛光方法，装置为：主轴安装座固装于设备台面上端，在主轴安装座上装有主轴安装板；工件旋转驱动电机和工件夹持装置分别设置于主轴安装板下方和上方，并驱动连接；绕Z轴旋转调整机构安装于主轴安装座上相对于工件夹持装置后方；绕Z轴旋转调整机构采用蜗轮蜗杆传动机构，蜗轮与中间轴同轴固连，中间轴通过端面轴承与丝杆立柱相对转动式连接，在中间轴与丝杆立柱之间设有紧固连接结构；丝杠立柱上端螺纹连接有工具旋转主轴安装座；工具旋转主轴安装于工具旋转主轴安装座前下部，工具夹持装置安
2023-06-04
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蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪及其加工方法.pdf
本发明公开一种蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪，包括刻有信号引线的玻璃基底和安装于玻璃基底上的主单元，主单元包括蜂窝状振子单元、中心支撑柱、中心电极以及离散电极组件；蜂窝状振子单元安装于玻璃基底的中心位置，整体呈正六边形中心电极设置于玻璃基底的中心；中心支撑柱安装于蜂窝状振子单元的中心位置，且中心支撑柱向下伸出蜂窝状振子单元键合安装于中心电极；离散电极组件键合安装于玻璃基底且与玻璃基底的信号引线相连接，且设置于蜂窝状振子单元四周，离散电极组件包括检测电极、校正电极、驱动电极以及驱动检测电极。本发明外本发明是全
2023-06-23
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微半球谐振陀螺的结构设计与工艺研究的任务书.docx
微半球谐振陀螺的结构设计与工艺研究的任务书任务书一、选题背景与意义：随着现代精密制造工艺和仪器检测技术的不断发展，微纳机电系统（MEMS）的制造技术和应用领域越来越广泛，陀螺仪作为一种重要的惯性导航器材，在军事、航空、航天、物流等领域具有广泛的应用前景。而微半球谐振陀螺由于能够实现对微小角速度的高精度测量，以及尺寸小、能耗低、成本低等优势，因此在惯性导航领域得到了广泛的应用和研究。二、研究内容和步骤：1.设计微半球谐振陀螺的结构和参数，并进行仿真分析；2.确定微半球谐振陀螺的工艺流程，包括微加工、生长和装
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一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法.pdf
本发明涉及微机电系统制造技术领域，具体是一种微半球陀螺球面电极成型装置及方法；所述方法包括将制备完成的谐振结构放入支架下层中；将玻璃结构紧贴所述谐振结构后盖上支架上层，并合拢上下层支架；将合拢后的支架放入真空加热炉中，软化所述玻璃结构；待炉体温度冷却至室温时，取出支架，得到与谐振结构相适应的球面电极结构；本发明球面电极结构的成型精度仅依赖于谐振结构本身，不受微半球陀螺其他工艺条件限制；在精确控制温度场的条件下，由于谐振结构曲面边缘本身存在温度梯度，使得球面结构的成型具有自适应性，即球面结构的曲率半径与谐振
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