

一种高纯铜系靶材的焊接方法.pdf
静芙****可爱
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相关资料
一种高纯铜系靶材的焊接方法.pdf
本发明提供一种高纯铜系靶材的焊接方法,所述方法包括以下步骤:(1)将铜靶坯加工成台阶状,台阶厚度与铜背板槽深度一致,对铜背板焊接面进行车削螺纹处理;(2)将加工后的所述铜靶坯以及铜背板进行清洗和干燥处理;(3)将所述铜靶坯以及铜背板进行装配,并依次进行电子束焊接以及热等静压焊接。所述焊接方法简化了焊接流程,降低成本,简化操作,同时保证了焊接质量。
一种高纯铜系靶材的焊接方法.pdf
本发明提供一种高纯铜系靶材的焊接方法,所述方法包括以下步骤:(1)将铜靶坯加工成台阶状,台阶厚度与铜背板槽深度一致,对铜背板焊接面进行车削螺纹处理;(2)将加工后的所述铜靶坯以及铜背板进行清洗和干燥处理;(3)将所述铜靶坯以及铜背板进行装配,并依次进行电子束焊接以及热等静压焊接。所述焊接方法简化了焊接流程,降低成本,简化操作,同时保证了焊接质量。
一种高纯铜靶材的制备方法及靶材的用途.pdf
本发明公开了一种高纯铜靶材的制备方法及靶材的用途,所制备的铜靶材平均晶粒尺寸≤1μm,且分布均匀。制备步骤包括:将纯度≥4N的铜原料依次进行1)连续铸造;2)坯料切割;3)等通道侧向挤压;4)轧制;5)热处理,制得高纯铜靶材。该方法制备的高纯铜靶材具有晶粒尺寸均匀细小、取向较为一致、靶材尺寸较大且较厚等特点,可应用于大规模集成电路互连线的溅射镀膜。
一种高纯铜靶材的制备方法.pdf
本发明公开了属于溅射靶材技术领域的一种高纯铜溅射靶材的制备方法。该方法主要包括:高纯铜靶材坯料在高温下进行镦粗拔长的塑性变形。经过多轮次的镦粗拔长变形后,将靶材坯料冷却。对冷却后的高纯铜靶材坯料进行压延变形制备成高纯铜靶坯。然后对靶坯进行热处理,得到组织细小均匀的高纯铜靶材。本发明的优点在于:采用塑性变形与热处理相结合的方法制备高纯铜靶材,该方法制备的靶材晶粒细小,分布均匀,完全满足溅射的需求。同时通过采用可控性的塑性加工设备使得加工工艺的一致性、重复性得到保证。该方法工艺简单,设备操作灵活,生产效率高,
铜背板与靶材的焊接方法.pdf
本发明提供一种铜背板与靶材的焊接方法,包括以下步骤:将铜背板、靶材放入包套中,包套设有通气管;将包套放入炉中,通过通气管对包套进行抽真空;待包套内部达到一定真空度后,使炉的温度升高到一定温度,并使炉持续保温一段时间,在炉的保温期间,依然对包套进行抽真空;密封包套的通气管;对内部设置有铜背板、靶材的包套进行热等静压焊接以使铜背板与靶材焊接在一起。在对包套进行抽真空的过程中,使包套持续置于高温环境中以使包套内部的液态水或其它液体形成蒸汽并可被抽走,从而使包套内部形成真正的真空环境,从而获得焊接强度及成品率较高