一种硬脆材料的低温加工方法及系统.pdf

本发明公开了一种硬脆材料的低温加工方法,低温加工方法采用激光切割和低温冷却配合的方法,先在待加工件上进行激光切割形成切割道,再对待加工件进行局部的低温冷却,使待加工件在切割道处裂开,最后对待加工件的局部加压使裂片部从待加工件上掉落。本发明还公开了一种用于实施低温加工方法的低温加工系统,包括激光切割装置、固定装置和冷却加压装置。本发明提供的低温加工方法及系统适用于硬脆材料的加工,可高质量地对硬脆材料进行切割裂片,切割边缘质量高,尤其适用于硬脆材料的内槽加工。