X射线管真空度的检测方法.pdf

本发明公开一种X射线管真空度的检测方法,包括以下步骤:步骤1,将电流表与钛泵串联后与电源连接,该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通;步骤2,将所述电流表的档位调节为μA档,将所述电源的输出电压调节至2?4kV,读取所述电流表的读数I0,得到所述X射线管的本底电流I0;以及步骤3,在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片,将所述电流表的档位调节为mA档,将所述电源的输出电压调节至3.8?4.2kV,读取所述电流表的读数Ii,若Ii?I0=0时,则P≤3×10?5Pa;P为X射线管的真空度,单位为Pa;Ii为离子电流,单位为μA。它通过测定其离子电流就能判断该X射线管的真空度是否符合要求,以对X射线管的生产工艺、质量进行控制。