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MEMS麦克风结构.pdf

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本实用新型提供了一种MEMS麦克风结构,包括:底座,底座具有第一腔体,底座具有与第一腔体连通的第一通孔和第二通孔;上盖组件,上盖组件盖设在底座上,上盖组件具有间隔设置的第二腔体、第三腔体以及与第二腔体连通的声入孔,第二腔体通过第一通孔与第一腔体连通,第三腔体通过第二通孔与第一腔体连通;MEMS芯片,MEMS芯片位于第二腔体内且对应第一通孔设置,声音信号经声入孔进入第二腔体、穿过MEMS芯片经第一通孔到第一腔体内、经第二通孔进入第三腔体内。本实用新型解决了现有技术中前进音MEMS麦克风高信噪比和小型化不能兼顾的问题。