一种基于波前测量的晶体折射率非均匀性测量方法.pdf

一种基于波前测量的晶体折射率非均匀性测量方法,激光器发出的光经过起偏器、扩束器后由聚焦透镜聚焦,再经检偏器形成探测光,通过扫描衍射物体,在远场光斑探测器上记录衍射斑。将待测晶体紧贴放置在聚焦透镜前面,通过调整起偏器和检偏器的偏振方向并分别记录衍射斑,得到o光和e光以及背景光的相位分布。本发明将PIE相位恢复技术与偏振测量相结合,通过相位恢复,根据得到的o光和e光的相位,求出晶体e光折射率非均匀性测量结果,提升了测量的采样分辨率。该方法具有结构简单、环境适应性强、测量分辨率及精度高等优点,对所用透镜等元件精度要求低,尤其适用于大口径晶体的检测。