光调制器以及使用该光调制器的光收发器模块.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110221457A(43)申请公布日2019.09.10(21)申请号201910140685.2(22)申请日2019.02.26(30)优先权数据2018-0372162018.03.02JP(71)申请人富士通光器件株式会社地址日本神奈川县(72)发明人杉山昌树(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人黄纶伟李辉(51)Int.Cl.G02F1/035(2006.01)G02B6/12(2006.01)G02B6/125(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图13页(54)发明名称光调制器以及使用该光调制器的光收发器模块(57)摘要光调制器以及使用该光调制器的光收发器模块。一种光调制器，该光调制器具有设置在基板的同一端的光输入端口和光输出端口；形成在所述基板中并被配置成形成Mach-Zehnder干涉仪的光波导对，所述光波导对的一端连接到所述光输入端口，并且所述光波导对的另一端连接到所述光输出端口，所述光波导对具有弯曲部分；沿光波导对设置在所述弯曲部分中的凹槽；以及将高频电信号施加到所述光波导对的信号电极，其中，所述信号电极具有在与所述凹槽相交的部分处具有增大的横截面积的扩展部分。CN110221457ACN110221457A权利要求书1/2页1.一种光调制器，所述光调制器包括：基板；光输入端口和光输出端口，所述光输入端口和所述光输出端口设置在所述基板的同一端；光波导对，所述光波导对设置在所述基板中并且形成Mach-Zehnder干涉仪，所述光波导对的一端连接到所述光输入端口，并且所述光波导对的另一端连接到所述光输出端口，所述光波导对具有弯曲部分；凹槽，所述凹槽沿所述光波导对设置在所述弯曲部分中；以及信号电极，所述信号电极将高频电信号施加到所述光波导对，其中，所述信号电极在与所述凹槽相交的部分处具有横截面积增大的扩展部分。2.根据权利要求1所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的宽度大于未与所述凹槽相交的另一部分的宽度。3.根据权利要求1所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于未与所述凹槽相交的另一部分的厚度。4.根据权利要求2所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于未与所述凹槽相交的所述另一部分的厚度。5.根据权利要求2所述的光调制器，所述光调制器还包括：与所述基板上的所述信号电极设置在同一平面上的接地电极，其中，所述信号电极与所述接地电极之间的间隙在所述信号电极的所述扩展部分周围变宽。6.根据权利要求3所述的光调制器，所述光调制器还包括：与所述基板上的所述信号电极设置在同一平面上的接地电极，其中，所述信号电极与所述接地电极之间的间隙在所述信号电极的所述扩展部分周围变宽。7.根据权利要求4所述的光调制器，所述光调制器还包括：与所述基板上的所述信号电极设置在同一平面上的接地电极，其中，所述信号电极与所述接地电极之间的间隙在所述信号电极的所述扩展部分周围变宽。8.根据权利要求1所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于与所述凹槽相交的部分处的所述凹槽的深度。9.根据权利要求2所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于与所述凹槽相交的部分处的所述凹槽的深度。10.根据权利要求3所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于与所述凹槽相交的部分处的所述凹槽的深度。11.根据权利要求4所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于与所述凹槽相交的部分处的所述凹槽的深度。12.根据权利要求5所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于与所述凹槽相交的部分处的所述凹槽的深度。13.根据权利要求6所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于2CN110221457A权利要求书2/2页与所述凹槽相交的部分处的所述凹槽的深度。14.根据权利要求7所述的光调制器，其中，所述信号电极的所述扩展部分的厚度大于与所述凹槽相交的部分处的所述凹槽的深度。15.根据权利要求1所述的光调制器，其中，所述光波导对的所述弯曲部分形成弯曲波导，在所述弯曲波导处，光的传播方向折返180度，并且其中，沿所述弯曲波导的外曲线形成所述凹槽。16.根据权利要求1所述的光调制器，其中，所述光波导对具有折返部分，在所述折返部分中，光的传播方向折返180度，其中，所述光波导对的所述弯曲部分处在位于所述折返部分与所述光输入端口或所述光输出端口之间的弯曲区域中，在所述弯曲区域中，所述光波导对之间的距离改变，并且其中，在所述弯曲区域中沿所述光波导对的外曲线形成所述凹槽。17.一种光收发器模块，所述光收发器模块包括：具有光调制器的光发射机；和光接收