麦克风组件、制备方法及电子设备.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115914962A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202310012067.6(22)申请日2023.01.05(71)申请人苏州敏芯微电子技术股份有限公司地址215123江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号纳米城NW09-102(72)发明人荣根兰(74)专利代理机构深圳紫藤知识产权代理有限公司44570专利代理师黄威(51)Int.Cl.H04R19/04(2006.01)权利要求书2页说明书10页附图9页(54)发明名称麦克风组件、制备方法及电子设备(57)摘要本发明涉及一种麦克风组件、制备方法及电子设备，其中麦克风组件包括第一电极层，与第一电极层对应设置的第二电极层，以及基底；基底具有在厚度方向上贯穿基底的腔体，第二电极层设置在腔体上方，并且第二电极层的一侧与基底的一侧表面固定连接；第一电极层包括多个相互隔离的第一电极区域，第二电极层包括第二电极区域，其中，每一第一电极区域均与第二电极区域构成电容结构，无需同时对第一电极层以及第二电极层设置电极引出电路，从而无需在第一电极层或者第二电极层上开设用于容纳电极引出通路的凹槽，节约了生产成本，减少了工艺步骤并且提高了生产效率。CN115914962ACN115914962A权利要求书1/2页1.一种麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件包括第一电极层（101），与所述第一电极层（101）对应设置的第二电极层（102），以及基底（105）；所述基底（105）具有在厚度方向上贯穿所述基底（105）的腔体，所述第二电极层（102）设置在所述腔体上方，并且所述第二电极层（102）的一侧与所述基底（105）的一侧表面固定连接；所述第一电极层（101）包括多个相互隔离的第一电极区域（1011），所述第二电极层（102）包括第二电极区域（1021），其中，每一所述第一电极区域（1011）均与所述第二电极区域（1021）构成电容结构。2.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，还包括与多个所述第一电极区域（1011）一一对应设置的电极引出元件（103），每一所述电极引出元件（103）设置在对应的所述第一电极区域（1011）的表面并和与之对应的所述第一电极区域（1011）电连接。3.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，所述麦克风组件还包括第一支撑件（106）以及第二支撑件（107）；所述第二电极层（102）的一侧通过所述第一支撑件（106）与所述基底（105）的一侧表面固定连接，所述第二电极层（102）的另一侧通过所述第二支撑件（107）与所述第一电极层（101）固定连接。4.如权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一电极层（101）为背极板的导电层，所述第二电极层（102）为振膜，所述背极板还包括与所述第二支撑件（107）固定连接的第一绝缘层（1012），所述第一电极层（101）位于所述第一绝缘层（1012）上；所述振膜的非固定区域形成所述第二电极区域（1021）。5.如权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一电极层（101）为振膜，所述第二电极层（102）为背极板的导电层；所述麦克风组件还包括与所述第二支撑件（107）固定连接的第三支撑层（108），所述振膜位于所述第三支撑层（108）上；所述背极板还包括与所述第一支撑件（106）固定连接的第一绝缘层（1012），所述导电层与所述第一绝缘层（1012）固定连接，所述导电层形成所述第二电极区域（1021）。6.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一电极层（101）上设置有至少一个隔离件（1022），从而将多个所述第一电极区域（1011）相互隔离。7.如权利要求6所述的麦克风组件，其特征在于，所述至少一个隔离件（1022）为在厚度上贯穿所述第一电极层（101）的隔离槽。8.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，每一所述第一电极区域（1011）的组成所述电容结构的有效面积相同。9.如权利要求8所述的麦克风组件，其特征在于，每一所述第一电极区域（1011）的形状以及大小均相同。10.如权利要求2所述的麦克风组件，其特征在于，多个所述第一电极区域（1011）的厚度相同，多个所述电极引出元件（103）的厚度相同。11.一种麦克风组件的制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供基底（105）并在所述基底（105）上形成第二电极层（102）；在所述第二电极层（102）上方形成第一电极层（101）；2CN115914962A权利要求书2/2页在所述第一电极层（101）上形成多个相互隔离的第一电极区域（1011），每一所述第一电极区域（1011）与所述第二电极层（102）的第二电极区域（1021）均构成电容结构。12.一种电子设备，其特征