含有脂环族环氧基的固化性树脂组合物、其制造方法及其固化物.pdf
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含有脂环族环氧基的固化性树脂组合物、其制造方法及其固化物.pdf
本发明提供一种固化性树脂组合物,其在提高制备抗蚀剂组合物时的溶解性以及稳定性的同时,使得抗蚀剂成膜时的膜厚均匀性、线宽均匀性、显影时的抗蚀剂膜的密合性等特性得到提高,且使其安全性得以提高。所述固化性树脂组合物包含共聚物和溶剂,所述共聚物含有:(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物所对应的单体单元、以及(B)含有碱可溶性基团的单体单元,所述溶剂含有占全部溶剂中的30~100质量%的二丙二醇二甲醚。
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酯化合物、其制造方法、聚合物、热固化性树脂组合物和固化膜.pdf
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