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(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102827323A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102827323A(43)申请公布日2012.12.19(21)申请号201210195831.XC09D133/14(2006.01)(22)申请日2012.06.14C09J133/14(2006.01)(30)优先权数据2011-1320522011.06.14JP(71)申请人株式会社大赛璐地址日本大阪府(72)发明人寺西直史中川泰伸赤井泰之(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所11105代理人张永新(51)Int.Cl.C08F220/32(2006.01)C08F220/06(2006.01)C08F220/18(2006.01)C08F2/06(2006.01)G03F7/004(2006.01)权利要求书权利要求书11页页说明书说明书1313页页(54)发明名称含有脂环族环氧基的固化性树脂组合物、其制造方法及其固化物(57)摘要本发明提供一种固化性树脂组合物,其在提高制备抗蚀剂组合物时的溶解性以及稳定性的同时,使得抗蚀剂成膜时的膜厚均匀性、线宽均匀性、显影时的抗蚀剂膜的密合性等特性得到提高,且使其安全性得以提高。所述固化性树脂组合物包含共聚物和溶剂,所述共聚物含有:(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物所对应的单体单元、以及(B)含有碱可溶性基团的单体单元,所述溶剂含有占全部溶剂中的30~100质量%的二丙二醇二甲醚。CN102873ACN102827323A权利要求书1/1页1.固化性树脂组合物,其包含共聚物和溶剂,所述共聚物含有(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物所对应的单体单元、以及(B)含有碱可溶性基团的单体单元,所述溶剂含有占全部溶剂中的30~100质量%的二丙二醇二甲醚。2.根据权利要求1所述的固化性树脂组合物,其中,(A)含有脂环族环氧基的聚合性不饱和化合物为选自:3,4-环氧环己基甲基(甲基)丙烯酸酯、3,4-环氧三环[5.2.1.02.6]癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯、3,4-环氧三环[5.2.1.02.6]癸烷-9-基(甲基)丙烯酸酯中的至少一种化合物。3.根据权利要求1或2所述的固化性树脂组合物,其中,所述共聚物还含有(C)不含环氧基的脂环族聚合性不饱和化合物所对应的单体单元。4.制造权利要求1~3中任一项所述的固化性树脂组合物的方法,其包含如下工序:(1)使用含有二丙二醇二甲醚的溶剂作为聚合溶剂来制造共聚物的工序;或(2)进行溶剂交换,将共聚物的溶剂交换成含有二丙二醇二甲醚的溶剂的工序。5.固化物,其是将权利要求1~3中任一项所述的固化性树脂组合物进行固化而得到的。2CN102827323A说明书1/13页含有脂环族环氧基的固化性树脂组合物、其制造方法及其固化物技术领域[0001]本发明涉及一种含有脂环族环氧基的固化性树脂组合物、其制造方法及其固化物,所述含有脂环族环氧基的固化性树脂组合物被用作:用于形成设置在电子部件上的绝缘膜、保护膜等的材料中所使用的放射线敏感性树脂,用于形成液晶显示材料(液晶显示用感光光阻、液晶显示用隔壁(rib)形成材料、保护涂层、滤色片形成用彩色光阻剂、TFT绝缘膜等)的液晶抗蚀剂用材料、涂料、涂覆剂、粘接剂等,所述电子部件有:半导体工艺中的使用远紫外线、电子束、离子束、X射线等活性光线的光刻及液晶显示元件、集成电路元件、固体摄像元件等。背景技术[0002]作为液态光致抗蚀剂(下文有时简称为“抗蚀剂”)中所使用的溶剂,目前已知有各种溶剂,可考虑到抗蚀剂树脂组合物的溶解性、涂布性、灵敏度、显影性、所形成的图案特性等,选择使用适当的溶剂(溶媒)。作为上述溶解性、涂布性、抗蚀剂形成特性等各特性优异的溶剂,已知有例如乙二醇单乙醚乙酸酯,但由于被指出对人体的安全性存在问题,因此,已完全不被用作抗蚀剂的溶剂,作为取而代之的安全性高的溶剂,已主要使用丙二醇单甲醚乙酸酯等(专利文献1~3等)。另外,作为安全性高的溶剂,除丙二醇单甲醚乙酸酯以外,也已知有乳酸乙酯及甲基正戊基酮等。[0003]但是,对于被认为比乙二醇单乙醚乙酸酯安全性高的这些溶剂而言,存在抗蚀剂形成特性及树脂溶解性等特性不充分的问题。例如,对于丙二醇单甲醚乙酸酯而言,存在如下问题:将抗蚀剂涂布在基板上并进行成膜时,溶剂的残膜率(是指制膜后的膜中的溶剂残存率)高、线宽均匀性、显影时的抗蚀剂膜的密合性等降低。其原因可以列举如下:丙二醇单甲醚乙酸酯本身为蒸发速度快的溶剂,将其用作抗蚀剂树脂的溶剂时,仅在涂布表面进行蒸发,在表面形成所谓的被膜,因此,涂布面内部所包含的溶剂不易蒸发。另外,已知丙二醇单甲醚乙酸酯的树脂溶解性、引发剂溶解性等比乙二醇单乙醚乙酸酯差。另外,特别是将包含在侧链具备脂环族环氧基的共聚