感光性树脂层叠体.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115903380A(43)申请公布日2023.04.04(21)申请号202211156119.9B32B27/36(2006.01)(22)申请日2022.09.22B32B27/08(2006.01)B32B33/00(2006.01)(30)优先权数据B32B7/08(2019.01)2021-1548172021.09.22JP(71)申请人旭化成株式会社地址日本东京都(72)发明人樱井隆觉三个野原崇士(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277专利代理师刘新宇李茂家(51)Int.Cl.G03F7/004(2006.01)G03F7/033(2006.01)G03F7/075(2006.01)B32B27/32(2006.01)权利要求书2页说明书28页(54)发明名称感光性树脂层叠体(57)摘要本发明的目的在于，提供能够兼顾低粘性和高分辨率的感光性树脂层叠体、以及使用该感光性树脂层叠的卷、抗蚀图案和结构体。提供一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，上述感光性树脂层和上述覆盖薄膜相接触，上述覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且上述感光性树脂层含有：(A)碱溶性树脂、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。CN115903380ACN115903380A权利要求书1/2页1.一种感光性树脂层叠体，其特征在于，其包含支撑体、感光性树脂层和覆盖薄膜，所述感光性树脂层和所述覆盖薄膜相接触，所述覆盖薄膜为低密度聚乙烯，且所述感光性树脂层含有下述成分：(A)碱溶性树脂、(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、和(D)两末端改性有机硅化合物，所述两末端改性有机硅化合物通过甲醇改性、酚改性或硅醇改性中的任意者进行了改性。2.根据权利要求1所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性树脂含有来自丙烯酸或甲基丙烯酸中的任一者或两者的结构单元。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂层叠体，其中，作为所述(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物，包含二官能单体和三官能以上的多官能单体。4.根据权利要求1～3中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(D)两末端改性有机硅化合物的官能团当量为100～1500g/mol。5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性树脂的重均分子量低于55000。6.根据权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，至少一种所述(A)碱溶性树脂的重均分子量低于20000。7.根据权利要求1～6中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性树脂相对于所述(B)具有烯属不饱和键的光聚合性化合物的质量比(A)/(B)小于1.0。8.根据权利要求1～7中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，在所述感光性树脂层中分散有来自所述(D)两末端改性有机硅化合物的有机硅成分。9.根据权利要求1～8中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(D)两末端改性有机硅化合物包含通过两末端甲醇改性、两末端酚改性或两末端硅醇改性中的任意者进行了改性的两末端改性有机硅化合物。10.根据权利要求1～9中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，与所述感光性树脂层相接触的所述覆盖薄膜表面的表面自由能和与所述覆盖薄膜相接触的所述感光性树脂层表面的表面自由能的差为20mJ/m2以上。11.根据权利要求1～10中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述(A)碱溶性树脂包含来自芳香族单体或脂环式单体成分的结构单元。12.根据权利要求1～11中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述感光性树脂层的膜厚为10μm以下。13.根据权利要求1～12中任一项所述的感光性树脂层叠体，其中，所述覆盖薄膜的所述感光性树脂层侧的表面粗糙度Rz为200＜Rz＜800。14.一种卷，其是将权利要求1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体卷绕而成的。15.一种抗蚀图案的形成方法，其包括以下工序：从权利要求1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体上剥离所述覆盖薄膜的工序；将所述感光性树脂层的剥离了所述覆盖薄膜的面层叠于基板而形成感光性元件的层2CN115903380A权利要求书2/2页叠工序；对所述感光性元件的所述感光性树脂层进行曝光的曝光工序；和对所述感光性树脂层的未曝光部进行显影去除的显影工序。16.一种结构体，其包含：从权利要求1～13中任一项所述的感光性树脂层叠体上剥离所述覆盖薄膜而得到的所述感光性树脂层；和从所述感光性树脂层的剥离了所述覆盖薄膜的面层叠的基板。3CN115903