一种石英晶片研磨装置.pdf
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一种石英晶片研磨装置.pdf
本发明公开了一种石英晶片研磨装置,包括底座,所述底座顶部一端通过立杆固定连接有伺服电机,所述底座顶部靠近立杆一侧通过液压缸活动连接有支杆,所述支杆前端通过第二螺栓螺纹连接有安装板,所述安装板顶部一侧通过第一伸缩杆连接有铰接轴,所述铰接轴顶部连接有载物板,所述载物板表面设置有固定环,所述固定环包括上弧形环和下弧形环,所述上弧形环延伸进下弧形环内部,且上弧形环与下弧形环内部设置的伸缩弹簧的两端连接,所述安装板顶部另一侧固定连接有第二伸缩杆,且第二伸缩杆的顶端与载物板一端卡接连接。本发明通过设置载物板、第二伸缩
一种石英晶片研磨装置.pdf
本申请提供了一种石英晶片研磨装置,包括下研磨板以及上研磨板;研磨板上设置有研磨齿板,研磨齿板同时与环形齿盘、圆形齿板啮合连接,使研磨齿板能够沿与圆形齿板转动方向相反的方向转动;研磨齿板的内部设置有立板以及复位件,复位件啮合安装于一组立板之间,一组立板包括两个立板,一立板部分伸出研磨齿板的上端面,另一立板部分伸出研磨齿板的下端面,其中通过转动复位件,使立板具有部分伸出研磨齿板的第一状态以及全部收入研磨齿板内的第二状态。通过立板将研磨齿板顶起,并且上部的立板与下部的立板均与石英晶片的表面平齐,解决了石英晶片底
一种大面积石英晶片研磨装置及其研磨方法.pdf
一种大面积石英晶片研磨装置及研磨方法,所述研磨装置设有基座、支撑臂组件、研磨盘、旋转座、旋转电机、载物块和修盘环;所述基座为布置在水平面上的方形基座,在基座对角线的两端安装支撑臂组件;所述支撑臂组件包括摆臂、摆臂轴、摆臂电机、可调节臂和滚轮,所述摆臂轴下端与摆臂电机连接,摆臂轴的上端与摆臂一端固定装配,所述摆臂中部与可调节臂一端配装,在摆臂及可调节臂的另一端均安装滚轮;所述研磨盘安装在旋转座上;所述旋转座由旋转电机驱动运转;所述载物块套装在修盘环中,在载物块底面上粘接石英晶片。本发明通过对材料去除和基片固
石英晶片研磨工艺.pdf
本发明提供了一种石英晶片研磨工艺,具体包括以下步骤:提供一种研磨设备,该研磨设备中上研盘、下研盘、中心轮、内齿圈的传动比为1:5:3:1的研磨机;采用所述研磨机对石英晶片原片依次进行正向研磨和反向研磨。其中,正向研磨中所述游星轮的自旋转方向和下研盘的旋转方向相同,反向研磨中所述游星轮的自旋转方向和下研盘的旋转方向相反。该工艺使得经过上述研磨加工处理后的石英晶片的四点散差得到有效降低,同时减少了中心点波形中杂波和寄生片,从而提高了产品的成品率。
一种研磨轮及晶片研磨装置.pdf
本发明提供一种研磨轮及晶片研磨装置,涉及晶圆研磨领域,该研磨轮包括:磨轮轴心,磨轮轴心为圆柱状;设于磨轮轴心外表面且沿磨轮轴心周向设置的螺纹状研磨槽,从磨轮轴心的一端至另一端,螺纹状研磨槽的形状和尺寸保持不变。本发明实施例解决了倒角加工过程中,由于研磨轮与工件之间的接触点难以冷却使得工件出现烧伤和硬币纹的问题。