一种防止变形的半导体生产加工用设备及其使用方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111029293A(43)申请公布日2020.04.17(21)申请号201911164986.5(22)申请日2019.11.25(71)申请人大同新成新材料股份有限公司地址037002山西省大同市新荣区花园屯村(72)发明人王振国(74)专利代理机构北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙)11435代理人申绍中(51)Int.Cl.H01L21/687(2006.01)H01L21/48(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图3页(54)发明名称一种防止变形的半导体生产加工用设备及其使用方法(57)摘要本发明公开了一种防止变形的半导体生产加工用设备，包括底板、顶板、支杆以及两组夹紧组件，所述底板、顶板均为矩形板状、并互相平行设置，底板和顶板之间通过支杆固定，所述底板的底面中部、顶板的顶面中部均安装转动电机，两组夹紧组件对称设在底板和顶板之间，且两个夹紧组件均与转动电机的输出轴驱动联接,所述夹紧组件包括转盘、第一推杆、安装架以及调节机构，所述转盘的中部与电机的输出轴驱动联接，转盘远离电机的输出轴的一侧固定第一推杆，第一推杆的伸缩杆固定有安装架，所述安装架为十字架结构。本发明的结构简单，便于固定半导体封装体，在对产品四周的引脚切割时，不易造成产品变形的情况。CN111029293ACN111029293A权利要求书1/2页1.一种防止变形的半导体生产加工用设备，包括底板（2）、顶板（3）、支杆（4）以及两组夹紧组件，其特征在于：所述底板（2）、顶板（3）均为矩形板状、并互相平行设置，底板（2）和顶板（3）之间通过支杆（4）固定，所述底板（2）的底面中部、顶板（3）的顶面中部均安装转动电机（6），两组夹紧组件对称设在底板（2）和顶板（3）之间，且两个夹紧组件均与转动电机（6）的输出轴驱动联接；所述夹紧组件包括转盘（10）、第一推杆（12）、安装架（15）以及调节机构，所述转盘（10）的中部与电机（6）的输出轴驱动联接，转盘（10）远离电机（6）的输出轴的一侧固定第一推杆（12），第一推杆（12）的伸缩杆固定有安装架（15），所述安装架（15）为十字架结构，且安装架（15）的各个端杆均沿长度方向开设通孔（18），所述安装架（15）的两侧均安装调节机构；所述调节机构包括齿轮（23）、电机（24）以及两块齿板（16），所述齿轮（23）转动安装在安装架（15）的中部，两块齿板（16）沿同一方向设置、并分别滑动设在安装架（15）的相对两段杆上，两块齿板（16）的分别与齿轮（23）的两侧啮合；所述齿板（16）远离齿轮（23）的一段固定有活动块（17），所述活动块（17）与同侧的通孔（18）滑动连接，且每个活动块（17）上均固定有夹紧杆（14），每组调节机构内的夹紧杆（14）末端端面均在同一水平面上。2.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备，其特征在于：所述活动块（17）上开设安装孔，活动块（17）上安装第二推杆（13），所述第二推杆（13）的伸缩端穿过安装孔、并与对应的夹紧杆（14）连接。3.根据权利要求2所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备，其特征在于：所述夹紧杆（14）包括底杆（20）、弹簧（21）、夹紧头（22）以及插杆（25），所述底杆（20）与活动块（17）连接，底杆（20）远离安装架（15）的一侧开设插槽，插槽内连接有弹簧（21），弹簧（21）的末端连接有与插槽滑动连接的插杆（25），插杆（25）的末端固定弹性的夹紧头（22）。4.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备，其特征在于：所述安装架（15）的各个端杆之间通过弧形的肋板（19）固定，所述第一推杆（12）的伸缩端与肋板（19）固定连接。5.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备，其特征在于：所述底板（2）以及顶板（3）之间的两侧均设有两根支杆（4），位于同侧的两根支杆（4）中部均滑动设有活动插板（7），两块活动插板（7）可滑动拼接成矩形板，且活动插板（7）位于两组夹紧组件之间，所述支杆（4）上安装固定活动插板（7）的定位件。6.根据权利要求5所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备，其特征在于：两块活动插板（7）相远离的一侧均开设两个条形缺口（8），两个条形缺口（8）分别与两根支杆（4）滑动连接。7.根据权利要求6所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备，其特征在于：位于活动插板（7）两侧的支杆（4）为螺柱状、并螺旋配合有固定螺母（9），其中同一支杆（4）上、并位于活动插板（7）两侧的固定螺母（9）旋转靠近以夹紧活动插板（7）。8.根据权利要求1所述的一种防止变形的半导体生产加工用设备，其特征在于：所述支杆（4）的底端均穿过底板（2