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真空磁控溅射镀膜设备用户手册.doc

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真空磁控溅射镀膜设备顾客手册真空磁控溅射镀膜控制系统用户手册-07-09V1.1目录1.系统简述......................................................................................................................41.1真空系统................................................................................................................41.2传送系统...............................................................................................................41.3加热系统...............................................................................................................41.4溅射电源...............................................................................................................41.5冷却水..................................................................................................................41.6工艺气路...............................................................................................................52.系统供电......................................................................................................................52.1柜体通电前检查....................................................................................................52.2现场设备通电前检查............................................................................................52.3电源送电次序.......................................................................................................52.3.1PLC控制柜..........................................................................................................52.3.2电加热柜............................................................................................................62.3.3泵组柜................................................................................................................63.PLC运行程序................................................................................................................63.1环境模式...............................................................................................................73.2工作模式.........................................................