计算倒角硅片的面积-豆柴文库

计算倒角硅片的面积.doc

一、计算倒角硅片的面积Calculatetheareaofpseudo-squarewaferBADW边长Wmm对角Dmm倒圆角时面积cm2边长Amm对角Bmm倒直角时面积cm2二、计算正面栅线的遮光比例CalculateShading

2024-06-12

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硅片边缘倒角方法.pdf

本发明公开了一种硅片边缘倒角方法，使用倒角砂轮磨削硅片边缘进行倒角，其特征在于，采用4圈倒角的方法，第1至第3圈倒角速度为27～35mm/12～18s；第4圈倒角速度为20-26mm/10～14s。本发明中的硅片边缘倒角方法，可提高硅片倒角质量。使用本发明中的硅片边缘倒角方法，倒角划伤比率降为0.0502％。倒角不良率降为0.063％。

2023-10-21

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硅片倒角工艺研究.docx

硅片倒角工艺研究一、引言硅片是现代半导体工业的重要材料，广泛应用于各种微电子元件和集成电路器件中。硅片的表面粗糙度和倒角质量直接影响到电子器件的性能，并影响着整个半导体工业的发展。因此，研究硅片倒角工艺具有重要的意义。本文对硅片倒角工艺研究进行了综述，介绍了硅片倒角工艺的原理、方法和影响因素等内容。二、硅片倒角工艺原理硅片倒角工艺是将硅片切割成需要的形状，并将其边缘倒成一个角度。倒角的作用是减小硅片边缘的半径，使得硅片容易吸附和包覆，同时增加硅片的抗机械破坏性和减小损伤。硅片倒角工艺的原理是通过机械切割和

2024-11-17

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计算硅片面积及栅线遮光面积.doc

一、计算倒角硅片的面积Calculatetheareaofpseudo-squarewaferBADW边长Wmm对角Dmm倒圆角时面积cm2边长Amm对角Bmm倒直角时面积cm2二、计算正面栅线的遮光比例CalculateShading

2024-02-24

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计算硅片面积及栅线遮光面积.doc

一、计算倒角硅片的面积Calculatetheareaofpseudo-squarewaferBADW边长Wmm对角Dmm倒圆角时面积cm2边长Amm对角Bmm倒直角时面积cm2二、计算正面栅线的遮光比例CalculateShading

2024-06-12

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