一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN104551996A(43)申请公布日2015.04.29(21)申请号201510036919.0(22)申请日2015.01.24(71)申请人常州贝斯塔德机械股份有限公司地址213023江苏省常州市钟楼经济开发区桂花路28号-1(72)发明人岳伟陈志嵩杨华华(74)专利代理机构北京汇信合知识产权代理有限公司11335代理人戴凤仪(51)Int.Cl.B24B47/14(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置(57)摘要本发明涉及一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，包括：支撑架，所述支撑架上部安装有气缸，所述支撑架中部设有连接体，所述支撑架下部安装有轴承座一，所述轴承座一上安装有主轴；所述连接体上安装有电机安装板与轴承，所述电机安装板上安装有电机，所述电机的主轴上安装有主动齿轮；所述主轴中部套有滚子轴承，所述主轴下部套固有连接盘，所述连接盘下部安装有轴承座二，所述连接盘与所述轴承座二之间的空隙处安装有键块，所述轴承座二内部安装有调心轴承，所述轴承座二下端安装有上磨盘。本发明的有益效果为：结构简单，使用方便，可提高工作效率，制造成本较低，方便清洗及维修等诸多优点。CN104551996ACN104551996A权利要求书1/1页1.一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，其特征在于，包括：支撑架(1)，所述支撑架(1)上部安装有气缸(19)，所述支撑架(1)中部设有连接体(2)，所述支撑架(1)下部安装有轴承座一(7)，所述轴承座一(7)上安装有主轴(8)；所述连接体(2)上安装有电机安装板(3)与轴承(4)，所述电机安装板(3)上安装有电机(17)，所述电机(17)的主轴上安装有主动齿轮(6)；所述主轴(8)上部安装有与所述主动齿轮(6)相配合的被动齿轮(5)，所述主轴(8)中部套有滚子轴承(16)，所述主轴(8)下部套固有连接盘(9)，所述连接盘(9)下部安装有轴承座二(15)，所述连接盘(9)与所述轴承座二(15)之间的空隙处安装有键块(14)，所述轴承座二(15)内部安装有调心轴承(10)，所述轴承座二(15)下端安装有上磨盘(11)。2.根据权利要求1所述的单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，其特征在于：所述气缸(19)上的气缸杆与所述连接体(2)相连。3.根据权利要求1所述的单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，其特征在于：所述轴承(4)内圈与所述主轴(8)通过锁紧螺母一(18)固定，所述连接体(2)与所述轴承(4)外圈通过所述电机安装板(3)压固。4.根据权利要求1所述的单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，其特征在于：所述主轴(8)与所述调心轴承(12)的内圈通过锁紧螺母二(12)固定；所述轴承座二(15)与所述调心轴承(12)的外圈通过端盖(13)压固。2CN104551996A说明书1/2页一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置技术领域[0001]本发明涉及一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置。背景技术[0002]蓝宝石(AL2O3)为六方对称结构，它作为最硬的氧化物晶体，具备优良的光化学和物理性能。机械强度高，耐化学腐蚀，有较好的导热性、热稳定性，透光波段宽，是理想的窗口衬底基本材料，另外，它具有电绝缘性，化学性能稳定，漏电容和寄生电容小，是极好的半导体、超导衬底材料。[0003]作为衬底用的蓝宝石晶体基片一般为2英寸，4英寸等。用作半导体衬底的光学蓝宝石晶体基片对其表面有很高的要求，包括片面度，平行度达到0.005mm,光洁度达到0.5nm。[0004]传统单面抛光机如图1所示，主要包括1-气缸，2-上盘，3-工件，4-下磨盘，5-机架，6-驱动，7-主轴，其原理是被加工件3贴合在上盘盘面上，上盘2和下盘4以相同的方向转动，工件3的下表面就与下盘4均匀的摩擦。利用这种原理可以对工件的表面进行化学机械抛光。传统单面抛光机的上磨盘不带驱动，或带有独立驱动的结构不够完美，导致成本过高，或者清洗不便。发明内容[0005]针对上述问题中存在的不足之处，本发明提供一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置。[0006]为实现上述目的，本发明提供一种单面磨抛机上磨盘独立驱动装置，包括：[0007]支撑架，所述支撑架上部安装有气缸，所述支撑架中部设有连接体，所述支撑架下部安装有轴承座一，所述轴承座一上安装有主轴；[0008]所述连接体上安装有电机安装板与轴承，所述电机安装板上安装有电机，所述电机的主轴上安装有主动齿轮；[0009]所述主轴上部安装有与所述主动齿轮相配合的被动齿轮，所述主轴中部套有滚子轴承，所述主轴下部套固有连接盘，所述连接盘下部安装有轴承座二，所述连接盘与所述轴承座二之间的空隙处安装有键块，所述轴承座二内部安装有调心