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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN107192499A(43)申请公布日2017.09.22(21)申请号201710513193.4(22)申请日2017.06.29(71)申请人沈阳芯源微电子设备有限公司地址110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号(72)发明人马壮徐春旭赵鹏李孟鸿(74)专利代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司21002代理人何丽英(51)Int.Cl.G01L21/00(2006.01)权利要求书2页说明书4页附图4页(54)发明名称一种多工位检测机械手真空状态的装置(57)摘要本发明属于半导体制程设备技术领域,具体地说是一种多工位检测机械手真空状态的装置。包括压紧机构、真空管路、锁紧机构、导柱、支撑架及底板,其中底板上设有两个导柱,多个依次弹性连接的压紧机构与两个导柱滑动配合,各压紧机构分别与一真空管路连接,多个压紧机构的一侧或两侧设有与底板连接的支撑架,支撑架上设有锁紧机构,锁紧机构用于锁紧位于最上方的压紧机构,相邻两个压紧机构之间的空间为检测机械手的测量工位。本发明具有多个测量工位,可有效的对机械手的真空状态进行反复的检测和试验,大大提高了机械手在工作过程中的稳定性和可靠性,降低了不良品被装入设备的风险。CN107192499ACN107192499A权利要求书1/2页1.一种多工位检测机械手真空状态的装置,其特征在于,包括压紧机构(1)、真空管路(2)、锁紧机构(3)、导柱(4)、支撑架(5)及底板(6),其中底板(6)上设有两个导柱(5),多个依次弹性连接的压紧机构(1)与两个所述导柱(4)滑动配合,各压紧机构(1)分别与一真空管路(2)连接,多个压紧机构(1)的一侧或两侧设有与底板(6)连接的支撑架(5),所述支撑架(5)上设有锁紧机构(3),所述锁紧机构(3)用于锁紧位于最上方的所述压紧机构(1),相邻两个压紧机构(1)之间的空间为检测机械手(8)的测量工位。2.根据权利要求1所述的多工位检测机械手真空状态的装置,其特征在于,所述压紧机构(1)包括承压底座(103)、压紧块(105)及卡接块(107),其中承压底座(103)为与所述真空管路(2)连通的中空结构,所述承压底座(103)的顶部和底部分别设有测量工位槽和压紧块(105),所述测量工位槽上设有真空孔(104),待检测机械手(8)定位于所述测量工位槽上、并且内部真空气路与真空孔(104)连通,所述承压底座(103)通过直线轴承(101)与所述导柱(4)滑动配合,所述承压底座(103)的一侧或两侧设有卡接块(107),通过卡接块(107)与所述锁紧机构(3)连接。3.根据权利要求2所述的多工位检测机械手真空状态的装置,其特征在于,所述支撑架(5)上沿竖直方向设有滑槽(501),所述卡接块(107)与滑槽(501)滑动连接,所述卡接块(107)下端为斜面。4.根据权利要求2所述的多工位检测机械手真空状态的装置,其特征在于,所述真空孔(104)处设有真空孔盖板(106)、且通过密封圈(102)密封。5.根据权利要求1或2所述的多工位检测机械手真空状态的装置,其特征在于,所述锁紧机构(3)包括卡扣转接板(301)、锁紧块(302)、锁紧弹簧(303)、线性导轴(306)及把手组件,其中卡扣转接板(301)与所述支撑架(5)连接,所述锁紧块(302)与线性导轴(306)设置于卡扣转接板(301)上,所述线性导轴(306)为两个、且分别位于锁紧块(302)的两侧,两个所述线性导轴(306)上均套设有锁紧弹簧(303),所述把手组件与两个所述线性导轴(306)滑动连接、且位于锁紧弹簧(303)的上方,所述把手组件用于推动所述锁紧块(302)使其与所述压紧机构(1)分离,实现所述压紧机构(1)的解锁。6.根据权利要求5所述的多工位检测机械手真空状态的装置,其特征在于,所述把手组件包括锁紧把手(304)和铰链销(305),所述锁紧把手(304)的两端分别与两个线性导轴(306)滑动连接,所述锁紧弹簧(303)的两端分别与卡扣转接板(301)和锁紧把手(304)抵接,所述锁紧把手(304)的两端铰接有铰链销(305),所述锁紧把手(304)通过铰链销(305)推动所述锁紧块(302)。7.根据权利要求5所述的多工位检测机械手真空状态的装置,其特征在于,所述锁紧块(302)的上端设有向侧面凸起的锁扣(307),所述锁扣(307)的上端为斜面,所述锁扣(307)与所述压紧机构(1)卡接。8.根据权利要求1所述的多工位检测机械手真空状态的装置,其特征在于,所述支撑架(5)上沿高度方向设有多个安装孔(502),所述锁紧机构(3)通过与不同高度的安装孔(502)连接,实现所述锁紧机构(3)的高度调整。9.根据权利要