一种多工位检测机械手真空状态的装置.pdf
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一种多工位检测机械手真空状态的装置.pdf
本发明属于半导体制程设备技术领域,具体地说是一种多工位检测机械手真空状态的装置。包括压紧机构、真空管路、锁紧机构、导柱、支撑架及底板,其中底板上设有两个导柱,多个依次弹性连接的压紧机构与两个导柱滑动配合,各压紧机构分别与一真空管路连接,多个压紧机构的一侧或两侧设有与底板连接的支撑架,支撑架上设有锁紧机构,锁紧机构用于锁紧位于最上方的压紧机构,相邻两个压紧机构之间的空间为检测机械手的测量工位。本发明具有多个测量工位,可有效的对机械手的真空状态进行反复的检测和试验,大大提高了机械手在工作过程中的稳定性和可靠性
一种多工位VD/VOD真空精炼炉装置.pdf
一种多工位VD/VOD真空精炼炉装置,包括设置在处理位的固定平台,固定平台的顶部设置多个活动平台,每个活动平台分别通过升降机构连接固定平台,每个活动平台上设置有真空罐盖;每个活动平台的下方设置有对应的轨道,轨道上设置有台车,台车上设置有载有钢包的真空罐,固定平台的顶部一侧分别设置有对应的用于钢包保温盖加揭的加揭盖机构;固定平台右侧的轨道的上方设置有具有升降功能的吊钩;使用时,钢液真空处理和钢包吊运也可交替进行,彼此不受影响;实现对真空罐内的钢包进行在线加保温盖或揭加保温盖,可促使钢液保温节能、物流顺序顺畅
一种多工位真空焊接台.pdf
本发明公开了一种多工位真空焊接台,包括转盘及安装在转盘上的多个卡盘,还包括用于驱动转盘绕转盘自身轴线转动的第一驱动部,还包括用于驱动各卡盘绕各卡盘自身轴线转动的第二驱动部,所述第二驱动部包括数量与卡盘数量相等的自转轴,各卡盘均通过一根自转轴及至少一个第三轴承与转盘相连,所述第二驱动部还包括从动齿轮,所述从动齿轮的数量与卡盘的数量相等,各自转轴上均安装有一个从动齿轮,所述第二驱动部还包括第二电机及齿形带;各从动齿轮均与齿形带齿连接,所述第二电机用于驱动齿形带转动。本焊接台的结构设计不仅其可提高焊接效率,同时
一种多工位冲床机械手.pdf
本发明公开一种多工位冲床机械手,机架顶部设置有多个工位,工位下方的机架上设置有双片检测器、负压吸盘、送料机构,机架中部固定安装有横移驱动气缸、伸缩驱动气缸,横移驱动气缸一侧通过六角圆柱螺栓和弹簧垫片设置有导管,导管连接有液压缓冲器,机架底部安装有滚轮,机架上固定设置有分水滤气器、油管、调压器、储气罐、油雾器、压力继电器;分水滤气器、调压器和油雾器依次连接,分水滤气器一侧固定连接有油管,压力继电器上部与液压缓冲器四连接,连接板上侧固定设置有液压缓冲器三、升降驱动气缸,机架中部的底板上固定有大平板,大平板上固
一种双边多工位多视点外观检测装置.pdf
一种双边多工位多视点外观检测装置,包括产品移栽机构和相机检测机构,相机检测机构包括第一支撑架、相机安装板、相机和升降移动模组,若干相机并列安装在相机安装板上,升降移动模组驱动相机上下移动以调整相机与待测产品之间的距离;产品移栽机构包括产品夹具、第一旋转驱动组件、旋转板、第二支撑架和平移驱动模组,第一旋转驱动组件驱动旋转板相对第二支撑架转动,产品夹具安装在旋转板上,平移驱动模组驱动产品夹具水平移动;产品移栽机构还可包括第二旋转驱动组件。本发明多个相机加组合光源、两套上下料机构、多个工位,检测效率高;两个旋转