一种感光性树脂组合物及其制备方法和固化膜及其应用.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115951559A(43)申请公布日2023.04.11(21)申请号202211717320.X(22)申请日2022.12.29(71)申请人福建泓光半导体材料有限公司地址363100福建省漳州市高新区九湖镇林前村林前773号(72)发明人毛鸿超李禾禾王静宋里千肖楠(74)专利代理机构厦门荔信律和知识产权代理有限公司35282专利代理师赖秀华(51)Int.Cl.G03F7/004(2006.01)C08G8/04(2006.01)权利要求书3页说明书14页(54)发明名称一种感光性树脂组合物及其制备方法和固化膜及其应用(57)摘要本发明属于半导体元件涂层的技术领域，公开了一种感光性树脂组合物及其制备方法和固化膜及其应用。所述感光性树脂组合物包括结构如式(1)所示的酚醛树脂、光产酸剂以及交联剂。该感光性树脂组合物可在较低温度下完全固化，并且所得固化膜具有良好的弹性、拉伸性能以及热稳定性，能被应用在耐热性能较差的半导体元件中，同时该感光性树脂组合物具有良好的碱溶性，可以其作为原料制备得到高精度的浮雕图案，具有良好的应用前景。CN115951559ACN115951559A权利要求书1/3页1.一种感光性树脂组合物，其特征在于：包括结构如式(1)所示的酚醛树脂、光产酸剂以及交联剂；式(1)中，R1～R4各自独立地选自氢原子、C1～C10的一价脂肪族基团以及部分或全部氢原子被氟原子取代的C1～C10的一价脂肪族基团中的一种，且n1≥2；X选自氢原子、C2～C10的烷氧基羰基、C2～C10的烷氧基羰基烷基、C2～C10的烷氧基烷基、四氢吡喃基以及四氢呋喃基中的一种，R5选自C1～C10的烃基、C1～C10的烷氧基、硝基以及氰基中的一种，且n2≥2，m1＝1、2或3，m2＝0、1或2，2≤(m1+m2)≤4，且n2≥2；Y为结构如式(3)或式(4)所示的二价有机基团：‑CR6R7‑式(3)，式(3)中，R6和R7各自独立地选自氢原子、C1～C11的一价有机基团以及含有羧基、磺酸基和酚羟基的基团中的一种；式(4)中，R8～R11各自独立地选自氢原子、C1～C10的一价脂肪族基团、部分或全部氢原子被氟原子取代的C1～C10的一价脂肪族基团中的一种；R12选自卤素原子、羟基、羧基、磺酸基以及一价有机基团中的一种或多种，m3＝1、2、3或4。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：所述酚醛树脂结构中的Y为结构如式(5)所示的二价有机基团，式(5)中，R13为C1～C5的烃基和/或C1～C5的烷氧基，m4＝1、2或3，m5＝0、1、2或3，且1≤(m4+m5)≤4；优选地，所述酚醛树脂结构中的Y为结构如式(6)所示的二价有机基团，式(6)中，R13为C1～C5的烃基和/或C1～C5的烷氧基，m5＝0、1、2或3。3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：所述酚醛树脂中，n1/(n1+n2)2CN115951559A权利要求书2/3页＝0.15～0.50；所述酚醛树脂的重均分子量为2000～200000Da。4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：所述光产酸剂为醌重氮基化合物；优选地，所述光产酸剂为具有重氮基‑1,2‑苯醌结构的化合物和/或具有重氮基‑1,2‑萘醌结构的化合物；所述交联剂选自环氧化合物、氧杂环丁烷化合物、噁唑啉化合物、碳二亚胺化合物、醛、异氰酸酯化合物、含有不饱和键的化合物、三聚氰胺及其衍生物、羟甲基化合物、烷氧基甲基化合物、N‑羟甲基化合物和N‑烷氧基甲基化合物重的一种或多种。5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：所述感光性树脂组合物中各原料的重量份如下：酚醛树脂95～120份；光产酸剂1～30份；交联剂1～30份。6.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于：所述感光性树脂组合物还包括热产酸剂、表面活性剂、硅烷偶联剂、溶解促进剂和交联促进剂中的一种或多种。7.一种感光性树脂组合物的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、将结构如式(7)所示的三蝶烯结构酚类化合物、结构如式(8)所示的酚类化合物组分与结构如式(9)和/或式(10)所示的聚合组分在催化剂的作用下进行聚合反应，得到酚醛树脂；S2、将所述酚醛树脂与光产酸剂以及交联剂以及任选的热产酸剂、表面活性剂、硅烷偶联剂、溶解促进剂和交联促进剂混合均匀，即得所述感光性树脂组合物；式(7)中，R14～R17各自独立地选自氢原子、C1～C10的一价脂肪族基团以及部分或全部氢原子被氟原子取代的C1～C10的一价脂肪族基团中的一种；式(8)中，X选自氢原子、C2～C10的烷氧基羰基、C2～C10的烷氧基羰基烷基、C2～C10的烷氧基烷基、四氢吡喃基以及四氢呋