一种抛光装置及抛光设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108381330A(43)申请公布日2018.08.10(21)申请号201810222611.9(22)申请日2018.03.16(71)申请人中国工程物理研究院激光聚变研究中心地址610000四川省成都市武侯区科园一路3号(72)发明人侯晶谢瑞清陈贤华李洁廖德锋钟波邓文辉田亮(74)专利代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371代理人符莹莹(51)Int.Cl.B24B13/00(2006.01)B24B13/005(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图4页(54)发明名称一种抛光装置及抛光设备(57)摘要本发明提供了一种抛光装置及抛光设备，属于抛光设备领域。抛光装置包括机架、抛光盘、第一驱动装置、支撑架、活动架、第二驱动装置和夹具，抛光盘可转动的设置于机架。第一驱动装置用于驱动抛光盘相对机架绕第一竖轴线转动。支撑架设于机架上。活动架与支撑架活动连接。第二驱动装置用于驱动活动架相对支撑架竖向移动。夹具可转动的设置于活动架，夹具能够相对活动架绕第二竖轴线转动，夹具位于抛光盘的上方。在抛光过程中，由于夹具与活动架转动连接，抛光盘在转动的同时将带动整个夹具转动，从而带动晶体转动，进而提高了对晶体的抛光效果。CN108381330ACN108381330A权利要求书1/2页1.一种抛光装置，其特征在于，包括：机架；抛光盘，所述抛光盘可转动的设置于所述机架；第一驱动装置，所述第一驱动装置用于驱动所述抛光盘相对所述机架绕第一竖轴线转动；支撑架，所述支撑架设于所述机架上；活动架，所述活动架与所述支撑架活动连接；第二驱动装置，所述第二驱动装置用于驱动所述活动架相对所述支撑架竖向移动；夹具，所述夹具可转动的设置于所述活动架，所述夹具能够相对所述活动架绕第二竖轴线转动，所述夹具位于所述抛光盘的上方。2.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述抛光装置还包括第三驱动装置；所述支撑架与所述机架活动连接，所述第三驱动装置用于驱动所述支撑架相对所述机架移动，以使第二竖轴线沿所述抛光盘的径向移动。3.根据权利要求1所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具包括放置盘，所述放置盘上设有用于放置晶体的放置孔。4.根据权利要求3所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具还包括夹具座和挤压件，所述夹具座可转动的设置于所述活动架；所述放置盘可移动的设置于所述夹具座上，所述放置盘能够相对所述夹具座竖向移动；挤压件，所述挤压件设于所述夹具座，当所述放置盘向靠近所述夹具座的方向竖向移动时，所述挤压件能够挤压所述晶体。5.根据权利要求4所述的抛光装置，其特征在于，所述挤压件包括固定体、活动体和弹性件；所述固定体与所述夹具座连接，所述活动体可移动的设置于所述固定体，所述活动体能够相对所述固定体竖向移动；所述弹性件设于所述活动体与所述固定体之间，所述弹性件具有推动所述活动体相对所述固定体竖向向下移动的趋势。6.根据权利要求5所述的抛光装置，其特征在于，所述活动体包括用于挤压所述晶体的挤压体，所述挤压体位于所述放置孔内；所述放置孔的孔壁上设有限位部，所述限位部位于所述挤压体竖向向上移动的轨迹上。7.根据权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述放置孔为上小下大的锥形结构。8.根据权利要求6所述的抛光装置，其特征在于，所述活动体还包括杆体，所述固定体上设有导向孔，所述杆体的一端与所述挤压体连接，所述杆体的另一端延伸至所述导向孔内；所述杆体上设有第一凸出部，所述导向孔的孔壁上设有第二凸出部，所述第二凸出部位于所述第一凸出部竖向向下移动的轨迹上。9.根据权利要求4-8任一项所述的抛光装置，其特征在于，所述夹具还包括至少两个导向件，所述导向件为伸缩结构，所述导向件的一端与所述夹具座连接，所述导向件的另一端2CN108381330A权利要求书2/2页与所述放置盘连接。10.一种抛光设备，其特征在于，包括抛光液供给装置和权利要求1-9任一项所述的抛光装置，所述抛光液供给装置用于为所述抛光盘提供抛光液。3CN108381330A说明书1/6页一种抛光装置及抛光设备技术领域[0001]本发明涉及抛光设备领域，具体而言，涉及一种抛光装置及抛光设备。背景技术[0002]高效率激光晶体LBO，YCOB等非先生光学晶体，时用于超短、超强激光器的关键非线性材料，该类晶体具有宽的透过范围，适中的非线性系数，高损伤阈值和良好的化学和机械特性，广泛应用于激光倍频以及光参量振荡器和光参量放大器等强激光领域。在对晶体的加工过程中，需要利用抛光装置对晶体进行抛光，现有的抛光装置一般仅依靠旋转的抛光盘对晶体进行抛光，抛光效果差。发明内容[0003]本发明的目的在于提供一种抛光装置，以改善现有抛光装置抛光效果差的问题。