金属壳谐振陀螺振子的结构设计方法及金属壳谐振陀螺.pdf
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金属壳谐振陀螺振子的结构设计方法及金属壳谐振陀螺.pdf
本申请公开了一种金属壳谐振陀螺振子的结构设计方法及金属壳谐振陀螺。其中,该方法包括:利用有限元分析的方法对所述金属壳谐振陀螺振子进行模态分析,得到所述金属壳谐振陀螺振子的固有振动频率和相关振型;基于所述固有频率和相关振型,来设计所述金属壳谐振陀螺振子的结构。本申请解决了金属壳谐振陀螺的结构参数设计不精确地的技术问题。
微型类半球金属壳谐振陀螺装置.pdf
本申请公开了一种微型类半球金属壳谐振陀螺装置。其中,该装置包括:两块电路板,通过排针将所述两块电路板上下垂直连接;金属谐振陀螺敏感器件,由金属谐振子和平面电极构成,所述金属谐振陀螺敏感器件通过铜针与所述两块电路板中的位于上层的一电路板直插相连;其中,所述金属谐振子为类半球结构。本申请解决了金属谐振子品质因数不高的技术问题。
电极谐振微陀螺.pdf
本发明提供了一种电极谐振微陀螺,包括基体(1)、谐振体(2);所述谐振体(2)设置在基体(1)上;所述基体(1)具有容纳腔(4);所述谐振体(2)设置在容纳腔(4)内。所述谐振体(2)底部延伸出固定部(3);所述容纳腔(4)设置有固定部容纳槽;所述固定部(3)与固定部容纳槽相匹配;所述固定部(3)固定在固定部容纳槽内。本发明提供的加工工艺为平面微细加工工艺,加工方便,利于批量生产;通过腐蚀二氧化硅牺牲层形成底部支撑柱,可以精准的控制支撑柱的大小,并实现结构的自对称。
一种变壁厚伞形半球谐振子及半球谐振陀螺.pdf
本发明提出了一种变壁厚伞形半球谐振子及半球谐振陀螺,主要解决现有谐振子电容有效面积较小、抗过载性能较差的问题。该变壁厚伞形半球谐振子包括谐振子壳体和支撑杆;所述支撑杆设置在谐振子壳体内部,且其顶端与谐振子壳体的壳体内壁中心通过光滑曲面连接;所述谐振子壳体的壳体内壁呈半球面形状,壳体外壁为一个回转曲面,使得谐振子壳体的壳体厚度h(θ)随着θ变化,谐振子壳体的壳体厚度h(θ)值随着θ先减小后增大。本发明半球谐振陀螺包括平面电极基板以及上述变壁厚伞形半球谐振子;平面电极基板的中心设置有支撑杆安装孔,支撑杆底端嵌
半球谐振陀螺仪及其封装方法.pdf
本发明涉及陀螺仪技术领域,提供一种半球谐振陀螺仪及其封装方法,将熔融石英片采用高温喷灯吹制以形成具有支撑杆的半球谐振子;将半球谐振子通过支撑杆与基板熔合,并在基板上设置导线;采用陶瓷材料分层印制封装侧板和封装顶盖,以烧结封装侧板和封装顶盖使其形成整体结构,并在封装侧板和封装顶盖的整体结构上设置导线;在半球谐振子的表面和封装顶盖的分布电极处通过磁控溅射法进行金属镀膜,从而使半球谐振子与封装顶盖分布电极处形成电容器;将封装侧板和基板通过阳极键合的方式连接在一起,使封装侧板和基板导体连通,实现对半球谐振陀螺仪的