一种复合薄膜的制备方法及薄膜.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115975232A(43)申请公布日2023.04.18(21)申请号202310108342.4C08K9/02(2006.01)(22)申请日2023.02.10(71)申请人山东云海国创云计算装备产业创新中心有限公司地址250101山东省济南市自由贸易试验区济南片区浪潮路1036号浪潮科技园S01楼35层(72)发明人周朗郭芬(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限公司11227专利代理师王晓坤(51)Int.Cl.C08J5/18(2006.01)C08L79/08(2006.01)C08K3/04(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图3页(54)发明名称一种复合薄膜的制备方法及薄膜(57)摘要本发明公开了一种复合薄膜的制备方法及薄膜，应用于复合薄膜制备技术领域，包括：在前驱体溶液中添加碳纳米管，形成混合溶液；在基板的牺牲层表面设置混合溶液，固化后形成复合薄膜；对附着在基板表面的复合薄膜进行应力释放，得到待分离样品；将待分离样品沿倾斜角度浸入湿法腐蚀溶液，去除牺牲层，使复合薄膜与基板分离，至复合薄膜漂浮于湿法腐蚀溶液表面；通过清洗液清洗分离后的复合薄膜，晾干后制成复合薄膜。通过释放其应力，可以避免在后续分离步骤中因为应力造成复合薄膜的破裂；之后将待分离样品以倾斜角度浸入湿法腐蚀溶液，可以避免溶液对薄膜的破坏，且使得复合薄膜在分离时可以具有完整，平整的结构。CN115975232ACN115975232A权利要求书1/2页1.一种复合薄膜的制备方法，其特征在于，包括：在前驱体溶液中添加碳纳米管，形成混合溶液；在基板的牺牲层表面设置所述混合溶液，固化后形成复合薄膜；对附着在基板表面的复合薄膜进行应力释放，得到待分离样品；将所述待分离样品沿倾斜角度浸入湿法腐蚀的溶液，去除所述牺牲层，使所述复合薄膜与所述基板分离，至所述复合薄膜漂浮于所述湿法腐蚀溶液表面；通过清洗液清洗分离后的所述复合薄膜，晾干后制成所述复合薄膜。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述通过清洗液清洗分离后的所述复合薄膜，晾干后制成所述复合薄膜包括：通过去离子水清洗分离后的所述复合薄膜；沿垂直方向从所述去离子水中将所述复合薄膜提拉出，晾干后制成所述复合薄膜。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述对附着在基板表面的复合薄膜进行应力释放，得到待分离样品之后，还包括：沿所述待分离样品边缘划刻所述复合薄膜。4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述对附着在基板表面的复合薄膜进行应力释放，得到待分离样品包括：对附着在基板表面的复合薄膜加热进行应力释放，并自然恢复至室温，得到待分离样品。5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述牺牲层为二氧化硅层，所述湿法腐蚀的溶液为氢氟酸溶液。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在设置于基板的牺牲层表面设置所述混合溶液，固化后形成复合薄膜之后，还包括：对所述复合薄膜进行图案化。7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述碳纳米管为短多壁碳纳米管。8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述在前驱体溶液中添加短多壁碳纳米管，形成混合溶液的步骤包括：对所述短多壁碳纳米管进行表面处理，以增加所述短多壁碳纳米管与聚酰亚胺基体之间的结合键；将经过表面处理的短多壁碳纳米管添加进聚酰亚胺前驱体溶液，形成混合溶液。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述对所述短多壁碳纳米管进行表面处理的步骤包括：对所述短多壁碳纳米管表面进行酸化处理，在所述短多壁碳纳米管表面嫁接官能团。10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述前驱体溶液为溶解有聚丙烯酸的N‑甲基吡咯烷酮溶剂；所述在前驱体溶液中添加碳纳米管，形成混合溶液包括：将碳纳米管分散在N‑甲基吡咯烷酮溶剂中；将分散有碳纳米管的N‑甲基吡咯烷酮溶剂与溶解有聚丙烯酸的N‑甲基吡咯烷酮溶剂混合，形成混合溶液。11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，在在基板的牺牲层表面设置所述混合溶2CN115975232A权利要求书2/2页液之前，还包括：清洗所述基板的牺牲层表面，并在清洗所述牺牲层表面后，活化所述牺牲层表面。12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，活化所述牺牲层表面包括：使用氧等离子体去胶机对所述牺牲层表面进行轰击。13.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述在基板的牺牲层表面设置所述混合溶液，固化后形成复合薄膜包括：将所述混合溶液旋涂在在设置于基板的牺牲层表面；在旋涂所述混合溶液后，将所述混合溶液静置，挥发N‑甲基吡咯烷酮溶剂；对静置后的所述混合溶液进行亚胺化处理，在所述牺牲层表面形成复合薄膜。14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述对静置后的所述混合溶液进行亚胺