掩膜版张网装置及张网方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110629157A(43)申请公布日2019.12.31(21)申请号201911012810.8(22)申请日2019.10.23(71)申请人昆山国显光电有限公司地址215300江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢(72)发明人范柳彬李文星张蔡星付佳李金库(74)专利代理机构北京华进京联知识产权代理有限公司11606代理人李红艳(51)Int.Cl.C23C14/04(2006.01)C23C14/12(2006.01)C23C14/24(2006.01)权利要求书1页说明书5页附图2页(54)发明名称掩膜版张网装置及张网方法(57)摘要本发明涉及一种掩膜版张网装置及张网方法，通过在支撑架上的沿Y轴方向延伸的两条第二边框上分别设置相对的第一磁体和第二磁体，当沿Y轴方向拉伸子掩膜版时，子掩膜版在拉力作用下磁性金属边框内缩发生形变，此时第一磁体和第二磁体可沿X轴正方向和X轴负方向上分别对磁性金属边框施加方向相反的磁力，在磁力作用下可缓解磁性金属边框的形变，缓解拉伸子掩膜版造成的形变，提高掩膜版精度，进而提高显示面板的良率。另外，将子掩膜版与支撑架固定，还可以提升子掩膜版的强度，可以提高掩膜版蒸镀及清洗过程中的稳定性。CN110629157ACN110629157A权利要求书1/1页1.一种掩膜版张网装置，用于固定子掩膜版，所述子掩膜版包括沿Y轴方向延伸的两条磁性金属边框，其特征在于，所述掩膜版张网装置包括：支撑架，所述支撑架包括沿X轴方向延伸的两条第一边框和沿Y轴方向延伸的两条第二边框，所述X轴方向与所述Y轴方向垂直；至少一个第一磁体和至少一个第二磁体，分别设置于所述支撑架的两条第二边框上，所述第一磁体和所述第二磁体相对设置，用于沿所述X轴方向分别对所述子掩膜版的磁性金属边框施加方向相反的磁力。2.根据权利要求1所述的掩膜版张网装置，其特征在于，所述支撑架的两条第二边框上分别设置有凹槽，所述凹槽内设置滑轨条，以使所述第一磁体或所述第二磁体沿所述Y轴方向在所述滑轨条上移动。3.根据权利要求2所述的掩膜版张网装置，其特征在于，所述第一磁体和所述第二磁体包括磁体本体和驱动所述磁体本体移动的驱动马达。4.根据权利要求3所述的掩膜版张网装置，其特征在于，所述第一磁体和所述第二磁体包括永磁体。5.根据权利要求3所述的掩膜版张网装置，其特征在于，所述第一磁体和所述第二磁体包括电磁体。6.根据权利要求4或5所述的掩膜版张网装置，其特征在于，还包括处理模块和检测模块，所述驱动马达和所述检测模块连接所述处理模块。7.根据权利要求4或5所述的掩膜版张网装置，其特征在于，所述子掩膜版的金属边框形变程度越大的位置处，对应的所述第二边框上设置的所述第一磁体和所述第二磁体的数量越多。8.一种掩膜版张网方法，采用如权利要求1所述掩膜版张网装置对子掩膜板进行张网，其中，所述子掩膜版包括沿Y轴方向延伸的两条磁性金属边框，其特征在于，所述方法包括：沿所述Y轴方向拉伸所述子掩膜版；将拉伸后的至少一个所述子掩膜版放置于所述支撑架的第一边框上；所述第一磁体和所述第二磁体沿所述X轴方向分别对所述子掩膜版的磁性金属边框施加方向相反的磁力；将所述子掩膜版固定设置于所述支撑架的第一边框上。9.根据权利要求8所述的掩膜版张网方法，其特征在于，所述掩膜版张网装置包括第一磁体和第二磁体，其中所述第一磁体和所述第二磁体包括磁体本体和驱动所述磁体本体移动的驱动马达；所述掩膜版张网装置还包括处理模块和检测模块，所述驱动马达和所述检测模块连接所述处理模块；所述掩膜版张网方法还包括：利用检测模块检测所述子掩膜版形变情况，并将检测结果发送至处理模块；所述处理模块根据所述检测结果控制所述驱动马达移动所述磁体本体。10.根据权利要求9所述的掩膜版张网方法，其特征在于，所述第一磁体和所述第二磁体包括永磁体；或所述第一磁体和所述第二磁体包括电磁体。2CN110629157A说明书1/5页掩膜版张网装置及张网方法技术领域[0001]本发明涉及显示领域，特别是涉及一种掩膜版张网装置及张网方法。背景技术[0002]目前，蒸镀工艺过程中多采用精密掩膜版(finemetalmask，FMM)将有机发光材料蒸镀在基板规定的位置。在张网过程中，精密掩膜版沿一个方向被拉伸，拉伸后导致未被拉伸的两端发生形变，使得FMM上产生褶皱，直接影响蒸镀效果，降低了显示面板良率。发明内容[0003]基于此，有必要针对FMM被拉伸时产生褶皱影响显示面板良率的问题，提供一种掩膜版张网装置及张网方法。[0004]一种掩膜版张网装置，用于固定子掩膜版，所述子掩膜版包括沿Y轴方向延伸的两条磁性金属边框，所述掩膜版张网装置包括：[0005]支撑架，所述支撑架包括沿