钙钛矿薄膜涂布设备和用此设备制备钙钛矿吸光层的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110783466A(43)申请公布日2020.02.11(21)申请号201911153239.1(22)申请日2019.11.22(71)申请人上海黎元新能源科技有限公司地址201400上海市奉贤区奉浦大道1599号1栋2204(72)发明人毕恩兵陈汉王勐(74)专利代理机构北京三友知识产权代理有限公司11127代理人陈烨张印铎(51)Int.Cl.H01L51/42(2006.01)H01L51/48(2006.01)权利要求书3页说明书15页附图3页(54)发明名称钙钛矿薄膜涂布设备和用此设备制备钙钛矿吸光层的方法(57)摘要本发明公开了一种钙钛矿薄膜涂布设备和用此设备制备钙钛矿吸光层的方法，该设备包括传送装置、料膜辊装置、导向辊装置、滚压装置、风干装置与加热装置，传送装置包括：传送导轨和传送基座；料膜辊装置包括：料膜辊轮及料膜辊轮支架；料膜辊轮包括：第一、第二料膜辊轮；料膜辊轮支架包括：第一、第二支架；导向辊装置包括：导向辊轮和高度调节装置；导向辊轮包括：第一、第二导向辊轮；高度调节装置包括：第一、第二高度调节装置；滚压装置包括：支撑架，垂直导轨、固定架、滚轮模块和驱动件，滚轮模块包括至少一个滚轮；固定架与垂直导轨相连接，滚轮能在驱动件的驱动下沿着垂直导轨升降移动。本发明可用于制备大面积的钙钛矿薄膜。CN110783466ACN110783466A权利要求书1/3页1.一种钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，包括：传送装置、料膜辊装置、导向辊装置、滚压装置、风干装置与加热装置；所述传送装置包括：沿着水平方向纵长延伸的传送导轨和能相对所述传送导轨的纵长延伸方向移动的传送基座；沿着纵长延伸方向，所述传送导轨具有相对的第一端和第二端；所述料膜辊装置包括：料膜辊轮及用于支撑所述料膜滚轮的料膜辊轮支架；所述料膜辊轮包括：靠近所述传送导轨第一端的第一料膜辊轮和靠近所述传送导轨第二端的第二料膜辊轮；所述料膜辊轮支架包括：用于支撑所述第一料膜辊轮的第一支架和用于支撑所述第二料膜辊轮的第二支架；所述导向辊装置包括：导向辊轮和用于调节所述导向辊轮高度的高度调节装置；所述导向辊轮包括：第一导向辊轮和第二导向辊轮；所述高度调节装置包括：用于调节所述第一导向辊轮的第一高度调节装置和用于调节所述第二导向辊轮的第二高度调节装置；所述滚压装置包括：支撑架，设置在所述支撑架上沿着高度方向延伸的垂直导轨、固定架、设置在所述固定架上的滚轮模块和驱动件，所述滚轮模块包括至少一个滚轮；所述固定架与所述垂直导轨相连接，所述滚轮能在所述驱动件的驱动下沿着所述垂直导轨升降移动。2.如权利要求1所述的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述驱动件包括用于带动所述固定架以及所述固定架上的滚轮上下移动的第一电机、所述固定架上设置有横向导轨，所述驱动件还包括用于带动所述滚轮相对所述横向导轨水平移动的第二电机。3.如权利要求2所述的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述加热装置设置在所述传送基座上，所述加热装置包括：加热件、温度传感器和温度调节器，所述温度传感器用于获取所述加热件的温度，所述温度调节器与所述温度传感器电性连接，用于将所述加热件的温度控制在0至300℃之间。4.如权利要求2所述的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述风干装置设置有出风口，所述出风口吹出的风可将基底表面上的钙钛矿前驱液挥发干燥并形成钙钛矿薄膜。5.如权利要求2所述的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述滚轮模块包括滚轮架和设置在所述滚轮架上的第一滚轮和第二滚轮，所述滚轮架通过导轨滑块与所述横向导轨相连接，所述滚轮模块能在所述第一电机的驱动下沿着所述垂直导轨升降移动，并且所述滚轮模块能在所述第二电机的驱动下沿着所述横向导轨往复移动。6.如权利要求2所述的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，还包括与所述传送基座电性连接的控制系统，以及用于检测所述传送基座位置的传感器，所述控制系统能根据所述传感器的检测信息控制所述传送基座的运动状态。7.如权利要求1或6所述的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，还包括基底，所述基底包括基板，所述基板上设置有多个附着层，所述基板上用于放置钙钛矿前驱液。8.如权利要求7所述的钙钛矿薄膜涂布设备，其特征在于，所述第一料膜辊轮和所述第一料膜辊轮一个用于输出柔性软膜，一个用于卷取柔性软膜，在所述滚轮的压制下，所述柔性软膜覆盖在所述基底表面，形成一种以基底为底层，柔性软膜为顶层，二者之间夹有钙钛矿前驱液的紧密夹层结构。9.一种应用权利要求7所述的钙钛矿薄膜涂布设备制备钙钛矿吸光层的方法，其特征在于，包括：2CN110783466A权利要求书2/3页将沉积有钙钛矿前驱液的基底放置在传送装置的传送基座上，启动传送装置，通过传送基