气体的测量装置、气体流量测量方法及气体总量测量方法.pdf
雨巷****珺琦
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用于确定工艺气体的流量的测量方法和测量装置.pdf
为了以非常高的精度和小的测量误差来实现对工艺气体(1)的流量的测量,设置有配重(2),所述配重经由补偿装置(4)与气体压力容器(3)连接,所述配重产生配重力(F2),其中补偿装置(4)被设计为使得容器重力(F3)至少部分地补偿配重力(F2)或者配重力(F2)至少部分地补偿容器重力(F3)以形成结果得到的测量重力(Fx),其中设置有工艺秤(5),其被设计为在至少两个时间点(t1,t2)确定所述测量重力(Fx),并且其中设置有分析单元(6),所述分析单元与所述工艺秤(5)连接并且被设计为在使用在至少两个时间点
基于基准流量的气体泄漏测量方法.docx
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本发明公开了一种气体测量方法、设备及干扰气体补偿装置,在对被测气体进行测量的过程中,按照预定规则抽取空气进行校零测量,并记录校零测量结果,根据历史记录的符合设定条件的校零测量结果确定出本测量周期的补偿值,抽取被测气体进行测量,得到本测量周期内的被测气体的初步测量结果,采用本测量周期的补偿值对测得的被测气体的初步测量结果进行补偿计算,得到被测气体的补偿后测量结果。本发明不采用吸附剂方式,而是通过获得环境中干扰气体影响最低点,并采用该点对浓度计算进行补偿的方式对干扰气体进行补偿,以减少环境干扰气体对被测气体测