一种端头同心度装配调节机构及其调节方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111121672A(43)申请公布日2020.05.08(21)申请号202010031853.7(22)申请日2020.01.13(71)申请人梭莱镀膜工业(江阴)有限公司地址214437江苏省无锡市江阴市高新区金山路201号(72)发明人伊凡蔺裕平蒋宏翔(74)专利代理机构北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)11638代理人王凯(51)Int.Cl.G01B11/27(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图7页(54)发明名称一种端头同心度装配调节机构及其调节方法(57)摘要本发明涉及一种端头同心度装配调节机构及其调节方法，包含底座(1)、端头(2)、激光发射装置(3)、支撑架(4)、靶盘(5)和卡箍(6)；所述底座(1)的顶面设置有端头(2)和支撑架(4)，所述端头(2)和支撑架(4)相对设置且位于同一直线上；所述激光发射装置(3)通过卡箍(6)固定连接于端头(2)上，所述靶盘(5)设置于支撑架(4)上，上述激光发射装置(3)与靶盘(5)相对设置；本发明一种端头同心度装配调节机构及其调节方法，结构简单、调节方便、精度高、误差小、省时省力，提高了生产效率，降低了生产成本。CN111121672ACN111121672A权利要求书1/1页1.一种端头同心度装配调节机构，其特征在于：包含底座(1)、端头(2)、激光发射装置(3)、支撑架(4)、靶盘(5)和卡箍(6)；所述底座(1)的顶面设置有端头(2)和支撑架(4)，所述端头(2)和支撑架(4)相对设置且位于同一直线上；所述激光发射装置(3)通过卡箍(6)固定连接于端头(2)上，所述靶盘(5)设置于支撑架(4)上，上述激光发射装置(3)与靶盘(5)相对设置；所述激光发射装置(3)包含壳体(3.1)，所述壳体(3.1)呈碗状结构，壳体(3.1)的开口端外壁边缘处设置有法兰盘，所述法兰盘与端头(2)对应匹配，壳体(3.1)与端头(2)对接，通过卡箍(6)将壳体(3.1)的法兰盘和端头(2)固定连接；所述壳体(3.1)上设置有开关(3.2)，所述壳体(3.1)的底部中央设置有激光发射器(3.3)，所述激光发射器(3.3)的发射端朝向靶盘(5)设置，所述开关(3.2)与激光发射器(3.3)之间通过导电线连接；所述支撑架(4)呈H形结构，所述支撑架(4)的上部开有圆形卡接槽，圆形卡接槽的顶部设置有一豁口，靶盘(5)嵌置于支撑架(4)的上部圆形卡接槽内；所述靶盘(5)包含固定座(5.1)，所述固定座(5.1)为中空柱体，所述固定座(5.1)的柱体顶部开有两个相对称的限位槽；所述固定座(5.1)的底部固定连接有刻度盘(5.2)，所述刻度盘(5.2)朝向激光发射装置(3)的一面以刻度盘(5.2)的圆心为中心设置有刻度环(5.3)；所述刻度盘(5.2)正对激光发射装置(3)的一面设置有手柄(5.4)，所述固定座(5.1)的柱体顶部设置有支撑架锁定片(5.5)，所述支撑架锁定片(5.5)嵌置于固定座(5.1)的柱体顶部两个相对称的限位槽内；所述手柄(5.4)与支撑架锁定片(5.5)对应匹配；所述手柄(5.4)与支撑架锁定片(5.5)之间通过螺栓螺母相铰接。2.根据权利要求1所述的端头同心度装配调节机构，其特征在于：所述固定座(5.1)的外壁上设置有支撑架定位块(5.6)，所述支撑架定位块(5.6)嵌置于支撑架(4)的圆形卡接槽的顶部的豁口内。3.一种端头同心度装配调节机构的调节方法，其特征在于：步骤1、将激光发射装置(3)与端头(2)对接，激光发射装置(3)的法兰盘和端头(2)相匹配的，通过卡箍(6)将激光发射装置(3)固定连接在端头(2)上；将靶盘(5)插接至另一端的支撑架(4)的圆形卡接槽内，拨动手柄(5.4)，通过支撑架锁定片(5.5)将靶盘(5)锁紧在支撑架(4)上；步骤2、打开激光发射装置(3)的开关(3.2)，激光发射器(3.3)发射激光并照射在对面的靶盘(5)的刻度盘(5.2)上；步骤3、将端头(2)旋转360°，同时观察并记录不同角度时的激光点在靶盘(5)的刻度环(5.3)上的位置；步骤4、检验激光点的位置是否在刻度环(5.3)的误差范围内，若激光点始终保持在最小内圈以内，则表示同心度合格，若激光点未落入最小内圈以内，则相应调整端头或支撑端的位置，使激光点最终照射在最小内圈内，完成同心度校验。2CN111121672A说明书1/3页一种端头同心度装配调节机构及其调节方法技术领域[0001]本发明涉及一种端头同心度装配调节机构及其调节方法，属于靶材生产制造技术领域。背景技术[0002]镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。