驱动背板及制作方法、显示面板、显示装置.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115995469A(43)申请公布日2023.04.21(21)申请号202211611635.6(22)申请日2022.12.14(71)申请人京东方科技集团股份有限公司地址100015北京市朝阳区酒仙桥路10号申请人成都京东方光电科技有限公司(72)发明人向炼(74)专利代理机构北京三高永信知识产权代理有限责任公司11138专利代理师雷思鸣(51)Int.Cl.H01L27/12(2006.01)H01L21/77(2017.01)H10K59/12(2023.01)H10K59/126(2023.01)G09F9/33(2006.01)权利要求书2页说明书11页附图4页(54)发明名称驱动背板及制作方法、显示面板、显示装置(57)摘要本公开实施例提供了一种驱动背板及其制作方法、显示面板、显示装置，属于显示技术领域。该驱动背板包括衬底基板和依次层叠在衬底基板的承载面上的第一遮光结构、第一薄膜晶体管、第二遮光结构和第二薄膜晶体管。第一遮光结构位于第一薄膜晶体管的靠近衬底基板的一侧，且第一薄膜晶体管的有源层在承载面上的正投影位于第一遮光结构在承载面上的正投影内；第二遮光结构位于第二薄膜晶体管的靠近所述衬底基板的一侧，且第二薄膜晶体管的有源层在承载面上的正投影位于第二遮光结构在承载面上的正投影内。本公开实施例可以改善驱动背板中薄膜晶体管受光照影响导致性能不稳定的问题。CN115995469ACN115995469A权利要求书1/2页1.一种驱动背板，其特征在于，所述驱动背板包括：衬底基板和驱动电路层，所述驱动电路层包括依次层叠在所述衬底基板的承载面上第一电路层和第二电路层；所述驱动电路层包括多个驱动单元，所述多个驱动单元中的任一驱动单元包括第一遮光结构、第一薄膜晶体管、第二遮光结构和第二薄膜晶体管；所述第一遮光结构和所述第一薄膜晶体管位于所述第一电路层，所述第一遮光结构位于所述第一薄膜晶体管的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第一薄膜晶体管的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第一遮光结构在所述承载面上的正投影内；所述第二遮光结构和所述第二薄膜晶体管位于所述第二电路层，所述第二遮光结构位于所述第二薄膜晶体管的靠近所述衬底基板的一侧，且所述第二薄膜晶体管的有源层在所述承载面上的正投影位于所述第二遮光结构在所述承载面上的正投影内。2.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述第一遮光结构和所述第二遮光结构在所述承载面上的正投影至少部分重叠，所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管在所述承载面上的正投影至少部分重叠。3.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述第一遮光结构采用导电材料制成，所述驱动单元还包括第一引出电极，所述第一引出电极与所述第一遮光结构连接；或者，所述第二遮光结构采用导电材料制成，所述驱动单元还包括第二引出电极，所述第二引出电极与所述第二遮光结构连接。4.根据权利要求1所述的驱动背板，其特征在于，所述第一遮光结构和所述第二遮光结构均采用导电材料制成；所述驱动单元还包括第一引出电极、第二引出电极和引出电极连接结构；所述第一引出电极与所述第一遮光结构连接；所述第二引出电极与所述第二遮光结构连接；所述引出电极连接结构分别与所述第一引出电极和所述第二引出电极连接。5.根据权利要求3或4所述的驱动背板，其特征在于，所述第一引出电极与所述第一薄膜晶体管的栅极同层，或者，与所述第一薄膜晶体管的源漏极同层；所述第二引出电极与所述第二薄膜晶体管的栅极同层，或者，与所述第二薄膜晶体管的源漏极同层。6.根据权利要求5所述的驱动背板，其特征在于，所述引出电极连接结构与所述第二遮光结构同层。7.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述驱动单元还包括层间连接电极，所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管通过所述层间连接电极电连接。8.根据权利要求7所述的驱动背板，其特征在于，所述层间连接电极与所述第二遮光结构同层。9.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述多个驱动单元包括相邻的第一驱动单元和第二驱动单元；所述第一驱动单元还包括第三薄膜晶体管，所述第三薄膜晶体管位于所述第一电路层；所述第二驱动单元还包括第四薄膜晶体管，所述第四薄膜晶体管位于所述第二电路2CN115995469A权利要求书2/2页层，且所述第三薄膜晶体管和所述第四薄膜晶体管在所述承载面的正投影至少部分重叠。10.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述第二薄膜晶体管为氧化物晶体管，所述第一薄膜晶体管为低温多晶硅晶体管。11.根据权利要求1至4任一项所述的驱动背板，其特征在于，所述第二薄膜晶体管为驱动薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管为所述驱动单元中除了所述驱动薄膜晶体管