一种工件承载装置和固化设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111653516A(43)申请公布日2020.09.11(21)申请号202010504199.7(22)申请日2020.06.05(71)申请人北京七星华创集成电路装备有限公司地址101312北京市顺义区天竺综合保税区竺园三街6号(72)发明人吴涛孙增强(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人彭瑞欣姜春咸(51)Int.Cl.H01L21/687(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图10页(54)发明名称一种工件承载装置和固化设备(57)摘要本发明提供一种工件承载装置，用于在半导体器件制造过程中承载待加工件并进行位置调整，所述工件承载装置包括工作台、支撑架和多个连接组件；其中，所述工作台用于承载待加工件；所述支撑架与所述工作台之间设置有多个所述连接组件，所述连接组件用于带动所述工作台相对于所述支撑架平移和/或旋转。本发明提供的所述工件承载装置能够在保证工作台水平度的前提下平稳地对工作台的位置进行调整，进而灵活、平稳地调整工作台上的显示屏等待加工件与支撑架以及加工装置之间的相对位置。本发明还提供一种固化设备。CN111653516ACN111653516A权利要求书1/1页1.一种工件承载装置，用于在半导体器件制造过程中承载待加工件并进行位置调整，其特征在于，所述工件承载装置包括工作台、支撑架和多个连接组件；其中，所述工作台用于承载待加工件；所述支撑架与所述工作台之间设置有多个所述连接组件，所述连接组件用于带动所述工作台相对于所述支撑架平移和/或旋转。2.根据权利要求1所述的工件承载装置，其特征在于，所述连接组件包括固定设置在所述工作台上的至少一根第一导轨和固定设置在所述支撑架上的至少一根第二导轨，每根所述第一导轨与至少一根所述第二导轨位置对应，且所述第一导轨与相对应的第二导轨交叉设置；所述连接组件还包括相互铰接的第一转向件和第二转向件，所述第一转向件与所述第一导轨相连，且能够沿所述第一导轨滑动，所述第二转向件与所述第二导轨相连，且能够沿所述第二导轨滑动。3.根据权利要求2所述的工件承载装置，其特征在于，所述第一转向件与所述第二转向件之间通过球铰连接，且所述第一转向件可相对于所述第二转向件旋转。4.根据权利要求3所述的工件承载装置，其特征在于，所述连接组件还包括铰接球，所述第一转向件与所述第二转向件上均形成有铰接孔，所述铰接球的两端分别设置在所述第一转向件的铰接孔和所述第二转向件的铰接孔中。5.根据权利要求2至4中任意一项所述的工件承载装置，其特征在于，多个所述连接组件成对设置，每对所述连接组件均对称设置在所述支撑架中心位置的两侧，且每对所述连接组件中的第一导轨同向设置，每对所述连接组件中的第二导轨同向设置。6.根据权利要求5所述的工件承载装置，其特征在于，至少一对所述连接组件还包括驱动机构，所述驱动机构用于驱动对应的所述连接组件中的第二转向件沿相应的第二导轨运动。7.根据权利要求6所述的工件承载装置，其特征在于，所述驱动机构包括驱动块、电机和传动丝杠；所述电机设置在所述支撑架上，且所述电机用于驱动所述传动丝杠转动；所述驱动块与对应的所述第二转向件固定连接，且所述驱动块设置有驱动螺纹孔，所述传动丝杠匹配设置在所述驱动螺纹孔中；所述驱动块中还形成有两个导轨通孔，与所述驱动机构对应的两根所述第二导轨分别匹配设置在两个所述导轨通孔中，所述传动丝杠与所述第二导轨同向设置，且所述传动丝杠设置在两根所述第二导轨之间。8.根据权利要求6所述的工件承载装置，其特征在于，两对所述连接组件包括所述驱动机构，且该两对所述连接组件对应的第二导轨的延伸方向之间存在夹角。9.根据权利要求8所述的工件承载装置，其特征在于，所述夹角为90度。10.一种固化设备，所述固化设备包括工件承载装置和固化加工装置，所述固化加工装置用于对所述工件承载装置上承载的显示屏进行固化工艺，其特征在于，所述工件承载装置为权利要求1至9中任意一项所述的工件承载装置。2CN111653516A说明书1/6页一种工件承载装置和固化设备技术领域[0001]本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种工件承载装置和一种包括该工件承载装置的固化设备。背景技术[0002]在显示屏等工件的生产制作过程中，往往需要将显示屏多次放置在各工序对应的工作台上，并在工序结束后将显示屏取下并运送至下一工序。然而，在现有技术中，为了保证显示屏与工艺设备的对正，往往需要在放置显示屏后通过升降装置、气缸等多个运动机构对工作台进行高度、水平度以及水平方向位置的调整。然而，该调整过程需协调多种不同类型的运动机构先后运动，难以一次性确定各运动机构的进给量，调整操作过于繁琐