一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116008189A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202211546608.5(22)申请日2022.12.05(71)申请人中北大学地址030051山西省太原市尖草坪区学院路3号(72)发明人张瑞刘燕霖薛鹏孟永宏王志斌李孟委(74)专利代理机构太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)14119专利代理师连慧敏(51)Int.Cl.G01N21/21(2006.01)G01N21/35(2014.01)G01N21/01(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图6页(54)发明名称一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构(57)摘要本发明属于光谱椭偏结构技术领域，具体涉及一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构，包括近红外到中波红外波段起偏模块、深紫外到近红外波段起偏模块、样品台、检偏模块、轨道，所述近红外到中波红外波段起偏模块、深紫外到近红外波段起偏模块、样品台和检偏模块均设置在轨道上，所述轨道为环形轨道，所述近红外到中波红外波段起偏模块、深紫外到近红外波段起偏模块的光路方向上均设置有样品台，所述检偏模块设置在样品台的光路方向上。本发明针对不同的波段设置了不同的起偏检偏模块，可实现单次测量一个谱段，增大调制效率。并且本发明为检偏模块增加了轨道设计，使得本结构可以自动测量针对不同波段入射角透射或反射模式。CN116008189ACN116008189A权利要求书1/2页1.一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构，其特征在于：包括近红外到中波红外波段起偏模块(1)、深紫外到近红外波段起偏模块(2)、样品台(3)、检偏模块(4)、轨道(5)，所述近红外到中波红外波段起偏模块(1)、深紫外到近红外波段起偏模块(2)、样品台(3)和检偏模块(4)均设置在轨道(5)上，所述轨道(5)为环形轨道，所述近红外到中波红外波段起偏模块(1)、深紫外到近红外波段起偏模块(2)的光路方向上均设置有样品台(3)，所述检偏模块(4)设置在样品台(3)的光路方向上。2.根据权利要求1所述的一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构，其特征在于：所述近红外到中波红外波段起偏模块(1)包括近红外到中红外波段测量中光源(1‑1)、傅里叶红外干涉具(1‑2)、第一起偏器(1‑3)、第一电机(1‑4)、第一光阑(1‑5)，所述近红外到中红外波段测量中光源(1‑1)的光路方向上设置有傅里叶红外干涉具(1‑2)，所述傅里叶红外干涉具(1‑2)的光路方向上设置有第一起偏器(1‑3)，所述第一起偏器(1‑3)的光路方向上设置有第一光阑(1‑5)，所述第一起偏器(1‑3)固定连接在第一电机(1‑4)的输出轴上，所述样品台(3)设置在第一光阑(1‑5)的光路方向上。3.根据权利要求1所述的一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构，其特征在于：所述深紫外到近红外波段起偏模块(2)包括深紫外到近红外波段测量中光源系统(2‑1)、准直系统(2‑2)、第二起偏器(2‑3)、第二电机(2‑4)、第二光阑(2‑5)，所述深紫外到近红外波段测量中光源系统(2‑1)的光路方向上设置有准直系统(2‑2)，所述准直系统(2‑2)的光路方向上设置有第二起偏器(2‑3)，第二起偏器(2‑3)的光路方向上设置有第二光阑(2‑5)，所述第二起偏器(2‑3)固定连接在第二电机(2‑4)的输出轴上，所述样品台(3)设置在第二光阑(2‑5)的光路方向上。4.根据权利要求1所述的一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构，其特征在于：所述检偏模块(4)包括近红外到中波红外波段检偏系统(4‑1)和深紫外到近红外波段检偏系统(4‑2)，所述近红外到中波红外波段检偏系统(4‑1)和深紫外到近红外波段检偏系统(4‑2)并列设置，所述近红外到中波红外波段检偏系统(4‑1)和深紫外到近红外波段检偏系统(4‑2)分别设置在样品台(3)的光路方向上。5.根据权利要求4所述的一种基于傅里叶光谱和光栅光谱的超宽波段光谱椭偏结构，其特征在于：所述红外到中波红外波段检偏系统(4‑1)包括近红外到中红外波段探测器(4‑1‑1)、近红外到中红外波段检偏器(4‑1‑2)、近红外到中红外波段补偿器(4‑1‑3)、第三电机(4‑1‑4)、第三光阑(4‑1‑5)，所述近红外到中红外波段探测器(4‑1‑1)设置在近红外到中红外波段检偏器(4‑1‑2)的光路方向上，所述近红外到中红外波段检偏器(4‑1‑2)设置在近红外到中红外波段补偿器(4‑1‑3)的光路方向上，所述近红外到中红外波段补偿器(4‑1‑3)设置在第三光阑(4‑1‑5)的光路方向上，所述近红外到中红外波段补偿器(4‑1‑3)固定连接在第三