一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构及傅里叶光谱仪.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115962849A(43)申请公布日2023.04.14(21)申请号202211726597.9(22)申请日2022.12.30(71)申请人光子集成（温州）创新研究院地址325011浙江省温州市龙湾区蒲州街道兴平路396号光电大厦5层(72)发明人张林林敏刘如意柏苑(74)专利代理机构西安迪业欣知识产权代理事务所(普通合伙)61278专利代理师校丽丽(51)Int.Cl.G01J3/02(2006.01)G01J3/45(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构及傅里叶光谱仪(57)摘要本发明公开了一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构，包括两个轴承、机座、转轴、电机和摆镜单元；所述两个轴承相对设置，且每个轴承的外圈均固定于所述机座上；所述转轴的两端穿过所述轴承的内圈，并与所述内圈固定连接，所述转轴的中间与所述摆镜单元固定连接；所述电机与所述转轴连接，用于带动所述摆镜单元摆动。本发明采用转轴固定连接轴承内圈，使摆镜结构在绕转轴摆动时，轴承中心轴无漂移，结构简单且满足傅里叶光谱仪对其同心度的要求，避免轴承转动时中心漂移，影响摆镜驱动精度，继而影响光谱仪精度，本发明具有控制精确，结构简单，低成本的特点。CN115962849ACN115962849A权利要求书1/1页1.一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构，其特征在于，包括两个轴承、机座、转轴、电机和摆镜单元；所述两个轴承相对设置，且每个轴承的外圈均固定于所述机座上；所述转轴的两端穿过所述轴承的内圈，并与所述内圈固定连接，所述转轴的中间与所述摆镜单元固定连接；所述电机与所述转轴连接，用于驱动所述摆镜单元摆动。2.根据权利要求1所述的傅里叶光谱仪的摆镜结构，其特征在于，所述摆镜单元包括第一角镜、第二角镜和角镜连接臂；所述第一角镜、所述第二角镜对称设置于所述角镜连接臂的两端；所述角镜连接臂的中间与所述转轴固定连接。3.根据权利要求2所述的傅里叶光谱仪的摆镜结构，其特征在于，还包括第一弹簧和第二弹簧；所述第一弹簧的一端与所述第一角镜所在侧的角镜连接臂连接，另一端与所述机座连接；所述第二弹簧的一端与所述第二角镜所在侧的角镜连接臂连接，另一端与所述机座连接；所述第一弹簧和所述第二弹簧以所述角镜连接臂的中间为中心，呈中心对称设置。4.根据权利要求3所述的傅里叶光谱仪的摆镜结构，其特征在于，所述第一弹簧与所述第二弹簧具有预压力。5.根据权利要求3所述的傅里叶光谱仪的摆镜结构，其特征在于，所述第一弹簧和所述第二弹簧为压缩弹簧或拉伸弹簧。6.根据权利要求1所述的傅里叶光谱仪的摆镜结构，其特征在于，所述轴承为滚动轴承或滑动轴承。7.根据权利要求1所述的傅里叶光谱仪的摆镜结构，其特征在于，所述电机为音圈电机。8.根据权利要求1所述的傅里叶光谱仪的摆镜结构，其特征在于，还包括电机座；所述电机座固定在所述机座上，所述电机安装在所述电机座上。9.一种傅里叶光谱仪，其特征在于，包括权利要求1‑8任一项所述的用于傅里叶光谱仪的摆镜结构。2CN115962849A说明书1/3页一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构及傅里叶光谱仪技术领域[0001]本发明公开了一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构及傅里叶光谱仪，属于光学设备技术领域。背景技术[0002]傅里叶光谱仪工作时，经过准直的待测红外光束入射到干涉仪中，控制干涉仪中动镜的运动，获得不同光程差下的干涉图，将获得的干涉图进行傅里叶变换，就得到光束的红外光谱图。[0003]干涉仪是傅里叶变换红外光谱仪的核心部件。干涉仪动镜的移动改变了形成干涉图的两束光的光程差，而光程差的大小也直接决定着光谱仪的分辨率。[0004]现有傅里叶光谱仪中干涉仪动镜的移动通常采用十字弹簧轴承，十字弹簧轴承内部由两个相互垂直的弹簧片构成，相当于悬臂梁交叉垂直，当转动十字弹簧轴承时，弹簧内部提供复位弹力，但十字弹簧旋转时中心轴会发生漂移，中心轴发生漂移，影响摆镜结构的驱动精度，继而影响傅里叶光谱仪精度。发明内容[0005]本申请的目的在于，解决现有傅里叶光谱仪采用十字弹簧轴承，轴承中心轴产生漂移的技术问题。为实现上述目的，本发明提出了一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构，具体方案如下：[0006]一种用于傅里叶光谱仪的摆镜结构，包括两个轴承、机座、转轴、电机和摆镜单元；[0007]所述两个轴承相对设置，且每个轴承的外圈均固定于所述机座上；[0008]所述转轴的两端穿过所述轴承的内圈，并与所述内圈固定连接，所述转轴的中间与所述摆镜单元固定连接；[0009]所述电机与转轴连接，用于驱动所述摆镜单元摆动。[0010]优选的，所述摆镜单元包括第一角镜、第二角镜和角镜连接臂；[0011]所述第一角镜、所述第二角