一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112847178A(43)申请公布日2021.05.28(21)申请号202011543508.8(22)申请日2020.12.24(71)申请人泗阳垠创运营管理有限公司地址223700江苏省宿迁市泗阳县经济开发区北京东路29号(72)发明人陈星星(74)专利代理机构宿迁市永泰睿博知识产权代理事务所(普通合伙)32264代理人陈科巧(51)Int.Cl.B25B11/00(2006.01)F16F15/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置(57)摘要本发明公开了一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置，包括底座，所述底座顶部的中心处栓接有放置台，所述底座顶部的两侧均栓接有支撑架，支撑架的顶部栓接有顶座。本发明通过滑杆、支撑板和复位弹簧的配合，可对升降板的高度进行弹性限位支撑，满足不同高度半导体器件的吸附夹持需求，通过吸泵、五通接头、气管和气动吸盘的配合，可对半导体器件进行强力吸附固定，满足体积较小且形状不规则半导体器件的吸附夹持需求，避免半导体器件夹持过程中出现歪斜错位发生掉落的情况，通过通槽、滑槽、电动推杆、遮挡座和滑块的配合，可对吸附完成半导体器件的下方进行遮挡防护，避免半导体器件吸附掉落至底座，可对半导体器件进行防掉落防护处理。CN112847178ACN112847178A权利要求书1/2页1.一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）顶部的中心处栓接有放置台（2），所述底座（1）顶部的两侧均栓接有支撑架（3），所述支撑架（3）的顶部栓接有顶座（4），所述顶座（4）正面的左侧栓接有控制器（5），所述顶座（4）顶部的中心处栓接有推杆气缸（6），所述推杆气缸（6）的活塞杆贯穿顶座（4）并栓接有移动座（7），所述移动座（7）的表面设置有吸附固定机构（8），所述移动座（7）的两侧均栓接有连接架（9），所述连接架（9）远离移动座（7）的一侧栓接有辅助架（10），所述辅助架（10）的内腔设置有防挡机构（11）。2.根据权利要求1所述的一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置，其特征在于：所述吸附固定机构（8）包括滑杆（81）、支撑板（82）、复位弹簧（83）、升降板（84）、吸泵（85）、五通接头（86）、气管（87）和气动吸盘（88），所述移动座（7）内腔的四周均嵌设有滑筒，且滑筒的内腔滑动连接有滑杆（81），所述滑杆（81）的顶部栓接有支撑板（82），所述支撑板（82）和移动座（7）相向的两侧均栓接有复位弹簧（83），所述滑杆（81）的底部贯穿移动座（7）并栓接有升降板（84），所述升降板（84）顶部的中心处栓接有吸泵（85），所述吸泵（85）的出气口连通有五通接头（86），所述五通接头（86）的四端均连通有气管（87），所述气管（87）远离五通接头（86）的一端贯穿升降板（84）并连通有气动吸盘（88）。3.根据权利要求1所述的一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置，其特征在于：所述防挡机构（11）包括通槽（111）、滑槽（112）、电动推杆（113）、遮挡座（114）、滑块（115）、限位垫（116）和压力传感器（117），所述辅助架（10）相向的底部开设有通槽（111），所述辅助架（10）内腔的底部从前至后依次开设有滑槽（112），所述辅助架（10）外侧的顶部栓接有电动推杆（113），所述电动推杆（113）的活塞杆贯穿辅助架（10）并栓接有遮挡座（114），所述遮挡座（114）的底部从前至后依次栓接有与滑槽（112）滑动配合的滑块（115），所述底座（1）顶部的两侧均栓接有限位垫（116），所述限位垫（116）内腔的中心处嵌设有压力传感器（117）。4.根据权利要求2所述的一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置，其特征在于：所述气管（87）和气动吸盘（88）沿升降板（84）的中心处呈轴对称状态分布，所述气管（87）的材质为钢管。5.根据权利要求3所述的一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置，其特征在于：所述遮挡座（114）的形状设置为直角状，所述遮挡座（114）相向的一侧栓接有防护海绵垫。6.根据权利要求1所述的一种防掉落效果好的半导体器件制造用夹持装置，其特征在于：所述支撑架（3）四周的顶部均栓接有连接座（12），所述连接座（12）远离支撑架（3）的一侧栓接有滑柱（13），所述滑柱（13）的底部与底座（1）的顶部栓接，所述滑柱（13）的表面滑动连接有滑套（14），所述滑套（14）的内侧栓接有连接杆（15），所述连接杆（15）远离滑套（14）的一侧与辅助架（10）的表面栓接，所述滑柱（13）的顶部套设有缓冲弹