一种靶材自动切割装置及其使用方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112959528A(43)申请公布日2021.06.15(21)申请号202110325921.5(22)申请日2021.03.26(71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司地址315400浙江省宁波市余姚市经济开发区名邦科技工业园区安山路(72)发明人姚力军边逸军潘杰王学泽吴豪杰(74)专利代理机构北京远智汇知识产权代理有限公司11659代理人王岩(51)Int.Cl.B28D5/00(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称一种靶材自动切割装置及其使用方法(57)摘要本发明提供了一种靶材自动切割装置及其使用方法，所述靶材自动切割装置包括依次连接的上料设备、上料称重设备、切断设备、下料称重设备以及标签打印设备；所述上料设备包括上料架和第一阻位器；所述上料架的表面朝所述上料称重设备的方向向下倾斜；所述第一阻位器设置于与上料称重设备相连接的一端；所述上料称重设备包括支撑架、第一称重器、第二阻位器和滚轴；所述第一称重器穿插设置于所述支撑架中；所述第二阻位器与所述滚轴相互垂直设置于所述支撑架上，所述滚轴的滚动方向与上料方向水平垂直；所述切割装置集自动上料、自动称重、自动切割以及自动打印标签为一体，有效提高了切割效率，减少人工干预，具有较好的工业应用前景。CN112959528ACN112959528A权利要求书1/1页1.一种靶材自动切割装置，其特征在于，所述靶材自动切割装置包括依次连接的上料设备、上料称重设备、切断设备、下料称重设备以及标签打印设备；所述上料设备包括上料架和第一阻位器；所述上料架的表面朝所述上料称重设备的方向向下倾斜；所述第一阻位器设置于与上料称重设备相连接的一端；所述上料称重设备包括支撑架、第一称重器、第二阻位器和滚轴；所述第一称重器穿插设置于所述支撑架中；所述第二阻位器与所述滚轴相互垂直设置于所述支撑架上，所述滚轴的滚动方向与上料方向水平垂直。2.根据权利要求1所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述上料称重设备的称重上限为1吨；优选地，所述上料称重设备的称重精度精确到百分位。3.根据权利要求1或2所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述第一称重器为2个；优选地，所述第一称重器包括圆弧形测量台、连接杆、气压起重器以及底座，所述底座、连接杆以及圆弧形测量台从下到上依次设置，所述气压起重器贯穿设置于所述底座上。4.根据权利要求1‑3任一项所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述第一阻位器至少为2个；优选地，所述第二阻位器至少为2个。5.根据权利要求1‑4任一项所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述切断设备为高速锯锯床；优选地，所述切断设备采用的高速锯为薄片金属带锯条。6.根据权利要求1‑5任一项所述的靶材自动切割装置，其特征在于，所述下料称重设备包括下料架、第二称重器以及滚轮传送带；优选地，所述滚轮传送带包括称重区和运输区，所述称重区为平台，所述运输区为逐渐降低的斜坡和平台。7.一种如权利要求1‑6任一项所述的靶材自动切割装置的使用方法，其特征在于，所述使用方法包括以下步骤：将靶材放置于上料设备上，开启靶材自动切割装置，第一阻位器下降，所述靶材自动滚落到上料称重设备上进行称重，然后通过滚轴将其运送到切断设备中，切割完毕后自动运送到下料称重设备上，同时完成打印标签，然后由人工将标签粘贴在切割后的靶材的侧面。8.根据权利要求7所述的使用方法，其特征在于，所述靶材包括铝靶材。9.根据权利要求7或8所述的使用方法，其特征在于，所述靶材为圆柱体，直径为30～700mm。10.根据权利要求7‑9任一项所述的使用方法，其特征在于，当所述靶材的直径为30～180mm时，所述切割的速度为2.7～3.1mm/s；优选地，当所述靶材的直径为180～390mm时，所述切割的速度为2.6～2.8mm/s；优选地，当所述靶材的直径为390～700mm时，所述切割的速度为2.5～2.6mm/s。2CN112959528A说明书1/6页一种靶材自动切割装置及其使用方法技术领域[0001]本发明属于靶材制备技术领域，具体涉及一种靶材自动切割装置及其使用方法。背景技术[0002]随着我国科学技术的日益发展，半导体工艺的应用也越来越广泛，因此靶材的需求量也逐渐增加。在靶材生产过程中，重要的一道工序是机加工，主要使用切割机进行加工。目前市场上切割机主要存在以下问题：(1)实际应用型单一；(2)操作程序较为复杂；(3)加工效率低；(4)对加工材料造成损坏。对以上情况，设计开发一种实用高效、一体化操作的靶材自动切割机，成为当前亟待解决的问题。[0003]CN208645715U公开了一种靶材切割机，包括框架、冷却组件、Z轴工作组件、Y轴工作组件、真空吸附