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一种用于晶圆盒的防变形清洗装置.pdf
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一种用于晶圆盒的防变形清洗装置.pdf
本发明公开了一种用于晶圆盒的防变形清洗装置，包括用于对晶圆盒进行输送的输送机构、用于对晶圆盒进行清洗的清洗机构、机箱。本发明利用联动电机转动部带动联动螺杆进行转动，通过联动螺杆的转动来带动支撑架进行两侧移动，在支撑架带动夹持机构进行两侧移动时，通过固定架上的吹扫风机来对打开后的晶圆盒内部进行快速的吹扫，从而清除晶圆盒内部的部分灰尘，利用过滤箱和正压风机向机箱内送入纯净的空气，使得机箱处于高压无尘空间，继而夹持气缸伸缩部的伸长来带动夹持臂上端向下翻转，同时使得夹持臂下端向上翻转来将晶圆盒的盒盖和盒体打开，从
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