用于行波管的电子枪及其制备方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114284121A(43)申请公布日2022.04.05(21)申请号202111609442.2(22)申请日2021.12.24(71)申请人中国科学院空天信息创新研究院地址100190北京市海淀区北四环西路19号(72)发明人刘泳良缪国兴王建(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人樊晓(51)Int.Cl.H01J23/06(2006.01)H01J23/12(2006.01)H01J9/18(2006.01)H01J25/34(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图2页(54)发明名称用于行波管的电子枪及其制备方法(57)摘要公开了一种用于行波管的电子枪，包括：壳体组件，壳体组件内限定封闭空间；环形的支撑架，支撑架的外侧固定在壳体组件上；筒形的聚焦极，支撑架的内侧固定在聚焦极上，以将聚焦极支撑在封闭空间内；热屏蔽筒，固定在聚焦极内侧；支撑筒，支撑筒的第一端固定在热屏蔽筒内侧；以及阴极热子组件，与支撑筒的第二端连接，使得阴极热子组件被支撑在聚焦极中；其中，至少由部分壳体组件、支撑架和支撑筒在封闭空间内限定成适用于阴极热子组件散热的第一真空腔体，使得容纳空间内形成第一真空腔体、和与第一真空腔体热隔离的第二真空腔体。电子枪采用双真空腔结构，避免因电子枪内阴极热子组件的出气量而造成的真空度下降，提高了行波管工作的稳定性。CN114284121ACN114284121A权利要求书1/2页1.一种用于行波管的电子枪，包括：壳体组件(1)，所述壳体组件内限定封闭空间(7)；环形的支撑架(2)，所述支撑架的外侧固定在所述壳体组件(1)上；筒形的聚焦极(3)，所述支撑架(2)的内侧固定在所述聚焦极(3)上，以将所述聚焦极(3)支撑在所述封闭空间(7)内；热屏蔽筒(4)，固定在所述聚焦极(3)内侧；支撑筒(5)，所述支撑筒的第一端固定在所述热屏蔽筒(4)内侧；以及阴极热子组件(6)，与所述支撑筒(5)的第二端连接，使得所述阴极热子组件(6)被支撑在所述聚焦极(3)中；其中，至少由部分所述壳体组件(1)、所述支撑架(2)和所述支撑筒(5)在所述封闭空间(7)内限定成适用于阴极热子组件(6)散热的第一真空腔体(71)，使得所述容纳空间内形成所述第一真空腔体(71)、和与所述第一真空腔体(71)热隔离的第二真空腔体(72)。2.根据权利1所述的电子枪，其中，所述支撑筒(5)的内径从所述支撑筒的第一端至第二端逐渐减小。3.根据权利1所述的电子枪，其中，所述壳体组件(1)包括：筒形的主体部(11)；输入端盖组件(12)，设置在所述主体部(11)的第一端；以及尾盖排气组件(13)，固定在所述主体部(11)的第二端。4.根据权利1所述的电子枪，还包括：阳极组件(8)，阳极组件(8)包括：阳极支撑架(81)，设置于所述主体部(2)上，并位于所述阴极热子组件(6)和输入端盖组件(1)之间；阳极(82)，设置于所述阳极支撑架(14)上；第一真空抽口(91)，设置于输入端盖组件(1)上，与第二真空腔体(72)相通；第二真空抽口(92)，设置于尾盖排气组件(12)上，与第一真空腔体(71)相通。5.根据权利1所述的行波管的双真空结构电子枪，其中，所述阴极热子组件(6)包括：热子组件(62)，焊接固定在所述支撑筒(5)内侧，产生热量和高温的结构；阴极(61)，设置于所述热子组件(6)上端，被加热后射出电子；结合筒(63)，设置于所述热子组件(6)的外部，所述结合筒(63)部分地包覆在阴极热子组件(6)的外部，并与所述支撑筒(5)的第二端连接。6.根据权利1‑5中的任一项所述的行波管的双真空结构电子枪，其中，所述支撑筒(6)由低蒸汽压金属材料制成，优选地，包括钼、钼铼、钽中的至少之一。7.根据权利要求1‑5中的任一项所述的电子枪，其中，所述热屏蔽筒(5)由可伐类材料制成，所述热屏蔽筒(4)与所述支撑筒(5)的结合部位形成向内径向突出的凸缘(41)；所述聚焦极(3)和所述阴极(61)同电位。8.根据权利要求1‑5中的任一项所述的电子枪，其中，所述聚焦极形成向外径向凹陷的凹陷部，使得部分所述热屏蔽筒(4)与所述聚焦极(3)之间形成间隙(31)。9.一种权利要求1‑8所述的电子枪的制备方法，包括：2CN114284121A权利要求书2/2页S1：将壳体组件(1)与支撑架(2)、热屏蔽筒(4)与聚焦极(3)之间固定焊料，装配到焊接模具中，在氢气保护炉中进行钎焊；S2：将支撑筒(5)的第一端与所述热屏蔽筒(4)内侧、支撑筒(5)的第二端与阴极热子组件(6)进行激光密封焊。10.根据权利要求9所述的制备方法，其中，所述焊料选用AuCu20；所述激光密封焊选用脉宽8ms，